Eo amin'ny sehatry ny fitiliana semiconductor, ny fisafidianana ny fitaovana ampiasaina amin'ny sehatra fitsapana dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fahamarinan'ny fitsapana sy ny fahamarinan'ny fitaovana. Raha ampitahaina amin'ny fitaovana vy natsipy nentim-paharazana, ny granita dia lasa safidy tsara indrindra ho an'ny sehatra fitsapana semiconductor noho ny fahombiazany miavaka.
Ny fanoherana ny harafesina miavaka dia miantoka ny fiasana maharitra sy maharitra
Mandritra ny fizotran'ny fitsapana ny semiconductor, matetika dia misy akora simika isan-karazany tafiditra, toy ny vahaolana potassium hydroxide (KOH) ampiasaina amin'ny famolavolana photoresist, ary ireo akora manimba be toy ny asidra hydrofluoric (HF) sy asidra nitrika (HNO₃) amin'ny fizotran'ny etching. Ny vy dia voaforon'ny singa vy indrindra. Ao anatin'ny tontolo simika toy izany, dia mety hitranga ny fihetsika oxidation-reduction. Ny atôma vy dia very elektrôna ary mandalo fihetsika fifindrana miaraka amin'ny akora asidra ao amin'ny vahaolana, ka miteraka harafesina haingana amin'ny velarana, mamorona harafesina sy lavaka, ary manimba ny fisaka sy ny fahamarinan'ny refy amin'ny sehatra.
Mifanohitra amin'izany kosa, ny firafitry ny mineraly ao amin'ny granita dia manome azy fanoherana miavaka amin'ny harafesina. Ny singa fototra ao aminy, ny quartz (SiO₂), dia manana toetra simika tena marin-toerana ary zara raha mihetsika amin'ny asidra sy base mahazatra. Ny mineraly toy ny feldspar dia tsy mihetsika amin'ny tontolo simika ankapobeny. Maro ny fanandramana no naneho fa ao anatin'ny tontolo simika mitovy amin'ny fitiliana semiconductor, ny fanoherana ny harafesina simika amin'ny granita dia mihoatra ny in-15 avo noho ny an'ny vy natsipy. Midika izany fa ny fampiasana sehatra granita dia afaka mampihena be ny matetika sy ny vidin'ny fikojakojana ny fitaovana vokatry ny harafesina, manitatra ny androm-piainan'ny fitaovana, ary miantoka ny fahamarinan'ny fitiliana maharitra.
Fahamarinana avo lenta, mahafeno ny fepetra takian'ny fahamarinan'ny fitiliana amin'ny ambaratonga nanometer
Tena avo lenta ny fepetra takiana amin'ny fitiliana semiconductor mba haharetan'ny sehatra ary mila mandrefy tsara ny toetran'ny puce amin'ny nanoscale. Somary avo ny coefficient de expansion thermal an'ny vy natsipy, eo amin'ny 10-12 ×10⁻⁶/℃ eo ho eo. Ny hafanana ateraky ny fiasan'ny fitaovana fitiliana na ny fiovaovan'ny mari-pana manodidina dia hiteraka fanitarana sy fihenan'ny hafanana be dia be amin'ny sehatra vy natsipy, ka hiteraka fivilian-toerana eo amin'ny probe fitiliana sy ny puce ary hisy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fandrefesana.
Ny coefficient-n'ny fivelaran'ny hafanana amin'ny granita dia 0.6-5×10⁻⁶/℃ monja, izay ampahany kely na ambany kokoa noho ny an'ny vy natsipy. Matevina ny firafiny. Ny fihenjanana anatiny dia efa nesorina tamin'ny alàlan'ny fahanteran'ny natiora maharitra ary tsy dia misy fiantraikany amin'ny fiovan'ny mari-pana. Ankoatra izany, ny granita dia manana hamafin'ny henjana, miaraka amin'ny hamafin'ny 2 ka hatramin'ny 3 heny noho ny an'ny vy natsipy (mitovy amin'ny HRC > 51), izay afaka manohitra tsara ny fiantraikany sy ny hovitrovitra ivelany ary mitazona ny fisaka sy ny mahitsy amin'ny sehatra. Ohatra, amin'ny fitadiavana circuit chip avo lenta, ny sehatra granita dia afaka mifehy ny hadisoan'ny fisaka ao anatin'ny ±0.5μm/m, izay miantoka fa ny fitaovana fitadiavana dia mbola afaka mahatratra ny fahitana mazava tsara amin'ny ambaratonga nano amin'ny tontolo sarotra.
Toetra miavaka manohitra ny andriamby, mamorona tontolo iainana madio ho an'ny fitiliana
Tena mora tohina amin'ny fitsabahana elektromagnetika ireo singa elektronika sy sensor ao amin'ny fitaovana fitsapana semiconductor. Manana ambaratonga andriamby sasany ny vy natsipy. Ao anatin'ny tontolo elektromagnetika, dia miteraka saha andriamby ateraky ny fitaovana fitiliana izy io, izay hanelingelina ny famantarana elektromagnetika an'ny fitaovana fitiliana, ka hiteraka fikorontanan'ny famantarana sy angon-drakitra fitiliana tsy ara-dalàna.
Ny granita kosa dia fitaovana manohitra andriamby ary zara raha voapolarisasin'ny saha andriamby ivelany. Misy tsiroaroa ao anatin'ny fifamatorana simika ny elektrôna anatiny, ary marin-toerana ny rafitra, tsy voakasiky ny hery elektromagnetika ivelany. Ao anatin'ny tontolo iainana andriamby matanjaka 10mT, ny hamafin'ny saha andriamby ateraky ny velaran'ny granita dia latsaky ny 0.001mT, raha toa kosa ka mihoatra ny 8mT ny eo amin'ny velaran'ny vy natsipy. Io endri-javatra io dia ahafahan'ny sehatra granita mamorona tontolo iainana elektromagnetika madio ho an'ny fitaovana fitiliana, indrindra fa mety amin'ny toe-javatra misy fepetra henjana momba ny tabataba elektromagnetika toy ny fitiliana puce quantum sy ny fitiliana circuit analog avo lenta, izay manatsara ny fahatokisana sy ny fitoviana amin'ny valin'ny fitiliana.
Amin'ny fananganana sehatra fitsapana semiconductor, ny granita dia nandresy tanteraka ny fitaovana vy noho ny tombony lehibe ananany toy ny fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana ary ny fanoherana ny andriamby. Rehefa mandroso mankany amin'ny fahamarinan-toerana ambony kokoa ny teknolojia semiconductor, ny granita dia hanana anjara toerana lehibe hatrany amin'ny fiantohana ny fahombiazan'ny fitaovana fitsapana sy ny fampiroboroboana ny fandrosoan'ny indostrian'ny semiconductor.
Fotoana fandefasana: 15 Mey 2025