Eo amin'ny sehatry ny famokarana semiconductor, ny fahamarinan-toerana no tena ilaina amin'ny kalitaon'ny vokatra sy ny fahombiazany. Ny fitaovana fandrefesana semiconductor, izay rohy fototra hiantohana ny fahamarinan'ny famokarana, dia mametraka fepetra henjana amin'ny fahamarinan'ny singa fototra ao aminy. Anisan'izany ny sehatra granita, miaraka amin'ny fahamarinan-toerana mafana miavaka, dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitaovana fandrefesana semiconductor. Ity lahatsoratra ity dia hanao fanadihadiana lalina momba ny fahombiazan'ny fahamarinan-toerana mafana amin'ny sehatra granita amin'ny fitaovana fandrefesana semiconductor amin'ny alàlan'ny angon-drakitra fitsapana tena izy.
Ireo fepetra henjana takiana amin'ny fahamarinan'ny hafanana amin'ny fitaovana fandrefesana amin'ny famokarana semiconductor
Tena sarotra sy mazava tsara ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor, ary efa nahatratra ny haavon'ny nanometra ny sakanyn'ny tsipika circuit eo amin'ny puce. Amin'ny fizotran'ny fanamboarana avo lenta toy izany, na dia ny fiovan'ny mari-pana kely indrindra aza dia mety hiteraka fanitarana sy fihenan'ny singa fitaovana, ka miteraka fahadisoana amin'ny fandrefesana. Ohatra, amin'ny fizotran'ny photolithography, raha miiba 1 nanometra ny fahamarinan'ny fandrefesana ny fitaovana fandrefesana, dia mety hiteraka olana lehibe toy ny circuit fohy na circuit misokatra ao amin'ny circuit eo amin'ny puce, ka mitarika ho amin'ny fikikisana ny puce. Araka ny antontan'isa momba ny indostria, isaky ny fiovaovan'ny mari-pana 1℃, ny sehatra fitaovana fandrefesana metaly nentim-paharazana dia mety hiova refy nanometra maromaro. Na izany aza, ny fanamboarana semiconductor dia mitaky ny fanaraha-maso ny fahamarinan'ny fandrefesana ao anatin'ny ±0.1 nanometra, izay mahatonga ny fahamarinan'ny mari-pana ho singa fototra amin'ny famaritana raha afaka mahafeno ny filàn'ny fanamboarana semiconductor ny fitaovana fandrefesana.
Tombontsoa ara-teorika amin'ny fahamarinan-toerana ara-hafanan'ny sehatra granita
Ny granita, amin'ny maha-vato voajanahary azy, dia manana kristaly mineraly anatiny miendrika kely, rafitra matevina sy mitovy, ary manana tombony voajanahary amin'ny fahamarinan-toerana ara-hafanana. Raha ny momba ny coefficient de expansion à la thermale, dia tena ambany dia ambany ny coefficient de expansion à la thermale an'ny granita, amin'ny ankapobeny dia eo anelanelan'ny 4.5 sy 6.5 × 10⁻⁶/K. Mifanohitra amin'izany kosa, ny coefficient de expansion à la thermale an'ny fitaovana metaly mahazatra toy ny firaka aluminium dia avo dia avo hatramin'ny 23.8 × 10⁻⁶/K, izay avo imbetsaka noho ny an'ny granita. Midika izany fa amin'ny toe-javatra miovaovan'ny mari-pana mitovy, ny fiovan'ny refy amin'ny sehatra granita dia kely kokoa noho ny an'ny sehatra metaly, izay afaka manome referansa fandrefesana marin-toerana kokoa ho an'ny fitaovana fandrefesana semiconductor.
Ankoatra izany, ny firafitry ny kristaly amin'ny granita dia manome azy fitoviana tsara amin'ny fitondrana hafanana. Rehefa miteraka hafanana ny fiasan'ny fitaovana na miova ny mari-pana manodidina, dia afaka mitondra hafanana haingana sy mitovy ny sehatra granita, ka misoroka ny hafanana tafahoatra na ny hatsiaka tafahoatra eo an-toerana, ka mitazona tsara ny tsy fiovaovan'ny mari-pana amin'ny sehatra ary miantoka bebe kokoa ny fahamarinan'ny fandrefesana.
Ny dingana sy ny fomba fandrefesana ny fahamarinan'ny hafanana
Mba hanombanana marina ny fahamarinan'ny hafanan'ny sehatra granita amin'ny fitaovana fandrefesana semiconductor, dia namorona tetika fandrefesana hentitra izahay. Misafidiana fitaovana fandrefesana wafer semiconductor avo lenta, izay misy sehatra granita voahodina amin'ny fomba tena marina. Tao anatin'ny tontolo fanandramana, dia nohadihadiana ny fiovaovan'ny mari-pana mahazatra ao amin'ny atrikasa fanamboarana semiconductor, izany hoe, mafana tsikelikely avy amin'ny 20℃ ka hatramin'ny 35℃ ary avy eo mangatsiaka indray hatramin'ny 20℃. Naharitra 8 ora ny dingana manontolo.
Eo amin'ny sehatra granita amin'ny fitaovana fandrefesana, dia apetraka ny "wafers silikônina" manara-penitra avo lenta, ary ampiasaina ny "capteur de displacement" manana fahamarinan'ny nanoscale mba hanaraha-maso ny fiovan'ny toerana misy eo amin'ny "wafers silikônina" sy ny sehatra amin'ny fotoana tena izy. Mandritra izany fotoana izany, misy "capteur de maripana avo lenta maromaro apetraka amin'ny toerana samihafa eo amin'ny sehatra mba hanaraha-maso ny fizarana maripana eo amin'ny velaran'ny sehatra. Nandritra ny andrana, dia noraketina isaky ny 15 minitra ny angon-drakitra momba ny fifindran'ny toerana sy ny maripana mba hahazoana antoka fa feno sy marina ny angon-drakitra.
Angon-drakitra voarefy sy famakafakana ny valiny
Ny fifandraisana misy eo amin'ny fiovan'ny mari-pana sy ny fiovan'ny haben'ny sehatra
Asehon'ny angon-drakitra andrana fa rehefa miakatra avy amin'ny 20℃ ka hatramin'ny 35℃ ny mari-pana, dia tena kely dia kely ny fiovan'ny haben'ny sehatra granita. Rehefa vita ny kajy, mandritra ny dingana fanafanana manontolo, dia 0.3 nanometera monja ny fivelarana ambony indrindra amin'ny sehatra, izay ambany lavitra noho ny elanelana fandeferana diso ho an'ny fahamarinan'ny fandrefesana amin'ny dingana famokarana semiconductor. Mandritra ny dingana fampangatsiahana, dia saika afaka miverina tanteraka amin'ny toetrany voalohany ny haben'ny sehatra, ary azo tsinontsinoavina ny trangan-javatra misy ny fiovan'ny habeny. Io toetra mampiavaka ny fitazonana fiovana ambany dia ambany amin'ny refy na dia eo aza ny fiovaovan'ny mari-pana be dia be dia manamarina tanteraka ny fahamarinan'ny mari-pana miavaka amin'ny sehatra granita.
Famakafakana ny fitoviana eo amin'ny mari-pana eo amin'ny velaran'ny lampihazo
Ny angon-drakitra nangonin'ny sensor mari-pana dia mampiseho fa mandritra ny fiasan'ny fitaovana sy ny fizotran'ny fiovan'ny mari-pana, dia mitovy tanteraka ny fizarazarana ny mari-pana eo amin'ny velaran'ny lampihazo granita. Na dia mandritra ny dingana izay miovaova be aza ny mari-pana, dia voafehy ao anatin'ny ±0.1℃ foana ny fahasamihafan'ny mari-pana eo amin'ny teboka fandrefesana tsirairay eo amin'ny velaran'ny lampihazo. Ny fizarazarana mari-pana mitovy dia misoroka tsara ny fiovaovan'ny endrika ateraky ny fihenjanana ara-hafanana tsy mitovy, miantoka ny fisaka sy ny fahamarinan'ny velaran'ny fandrefesana, ary manome tontolo fandrefesana azo antoka ho an'ny fitaovana fandrefesana semiconductor.
Raha ampitahaina amin'ny sehatra fitaovana nentim-paharazana
Nampitahaina tamin'ny fitaovana fandrefesana semiconductor mitovy karazana mampiasa sehatra firaka aliminioma ny angon-drakitra voarefy tao amin'ny sehatra granita, ary nisy fahasamihafana lehibe. Eo ambanin'ny toe-javatra miovaovan'ny mari-pana mitovy, ny fivelaran'ny sehatra firaka aliminioma dia mahatratra 2.5 nanometatra, izay mihoatra ny valo heny noho ny an'ny sehatra granita. Mandritra izany fotoana izany, ny fizarana mari-pana eo amin'ny velaran'ny sehatra firaka aliminioma dia tsy mitovy, miaraka amin'ny fahasamihafan'ny mari-pana ambony indrindra mahatratra 0.8℃, ka miteraka fiovaovan'ny endrika miharihary amin'ny sehatra ary misy fiantraikany lehibe amin'ny fahamarinan'ny fandrefesana.
Ao amin'ny tontolon'ny fitaovana fandrefesana semiconductor, ny sehatra granita, miaraka amin'ny fahamarinan'ny hafanana miavaka, dia lasa andry iankinan'ny fahamarinan'ny fandrefesana. Ny angon-drakitra voarefy dia manaporofo tsara ny fahombiazan'ny sehatra granita amin'ny fiatrehana ny fiovan'ny mari-pana, manome fanohanana ara-teknika azo antoka ho an'ny indostrian'ny famokarana semiconductor. Rehefa mandroso mankany amin'ny fahamarinan'ny mari-pana ambony kokoa ny fizotran'ny famokarana semiconductor, dia hiha-misongadina hatrany ny tombony azo avy amin'ny fahamarinan'ny hafanana amin'ny sehatra granita, izay hampiroborobo hatrany ny fanavaozana sy ny fampandrosoana ara-teknolojia ao amin'ny indostria.
Fotoana fandefasana: 13 Mey 2025