Ao amin'ny tontolon'ny fanamboarana semiconductor, ny fitsapana tsy manimba ny wafers dia rohy fototra mba hahazoana antoka ny kalitaon'ny chips. Ny fototra granita toa tsy dia misy dikany loatra no "mahery fo tsy fantatra" izay mamaritra ny fahamarinan'ny fitiliana. Ahoana no fiantraikan'izany amin'ny valin'ny fitsapana? Ity lahatsoratra ity dia hanao fanadihadiana lalina avy amin'ny refy toy ny toetran'ny fitaovana sy ny famolavolana rafitra.
1. Fototra mafy orina: Ny tombony voajanahary azo avy amin'ny granita dia mametraka fototra mafy orina ho an'ny fahamarinan-toerana
1. Fahombiazana tsara amin'ny horohoron-tany
Mandritra ny fiasan'ny fitaovana fitsapana tsy manimba "wafer", ny fihodinan'ny motera sy ny fihetsehan'ny singa mekanika dia hiteraka hovitrovitra. Raha tsy voafehy tsara ireo hovitrovitra ireo dia hanelingelina mafy ny fahamarinan'ny fitsapana. Mifamatotra akaiky amin'ny kristaly mineraly toy ny quartz sy feldspar ny ao anatin'ny granita. Ny rafitra miavaka dia manome azy fahafahana mandray hovitrovitra voajanahary, afaka mandray mihoatra ny 90% amin'ny angovon'ny hovitrovitra amin'ny fitaovana. Ny angon-drakitra tena izy momba ny fandrefesana avy amin'ny mpanamboatra semiconductor iray dia mampiseho fa rehefa avy nampiasa ny fototry ny granita, dia nihena avy amin'ny 12μm ho 2μm ny haben'ny hovitrovitra amin'ny fitaovana fitiliana, ka nisoroka ny fivilian'ny famantarana fitiliana vokatry ny hovitrovitra.
2. Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana ambany dia ambany
Mandritra ny fizotran'ny fitiliana, ny anton-javatra toy ny fanafanana ny fitaovana sy ny fiovan'ny mari-pana manodidina dia samy hisy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fotony. Mivelatra be ny fitaovana mahazatra rehefa hafanaina, saingy ny coefficient-n'ny fivelaran'ny hafanana amin'ny granita dia 1/5 monja amin'ny an'ny vy. Na dia miovaova 10℃ aza ny mari-pana manodidina, dia azo tsinontsinoavina ny fiovaovany. Izany dia ahafahan'ny fotony granita manome sehatra fanondroana marin-toerana ho an'ny fitaovana fanaraha-maso, izay miantoka fa ny toerana misy eo amin'ny probe fanaraha-maso sy ny wafer dia mijanona ho marina amin'ny fotoana rehetra ary misoroka ny lesoka fanaraha-maso vokatry ny fiovaovan'ny hafanana.
Faharoa, famolavolana mazava tsara: Ny fanatsarana ny rafitra dia mampitombo bebe kokoa ny fahatokisana ny fitiliana
Fikirakirana avo lenta sy antoka fisaka
Ny fotony granita avo lenta dia karakaraina amin'ny alàlan'ny teknolojia CNC misy rohy dimy axe mandroso, miaraka amin'ny fisaka ±0.5μm/m, izay manome referansa fametrahana fisaka be ho an'ny fitaovana fanaraha-maso. Amin'ny fanaraha-maso wafer, ny mahitsy sy ny fitoviana amin'ny probe fanaraha-maso dia tena ilaina amin'ny valin'ny fanaraha-maso. Ny fotony granita avo lenta dia afaka miantoka ny toerana marina misy ny probe, ka mahatonga ny angon-drakitra fanaraha-maso ho marina sy azo itokisana kokoa.
2. Fampifanarahana ara-drafitra namboarina manokana
Azo amboarina araka ny filàn'ny fitaovana fitsapana tsy manimba ny vato fisaka sy ny dingana samihafa ny fototry ny milina granita. Ohatra, mba hamenoana ny fepetra takian'ny fitaovana fanaraha-maso optika ho an'ny taratra hazavana, dia azo karakaraina manokana ny velaran'ny fototry ny milina; Mba hamenoana ny fepetra takian'ny fametrahana ny fitaovana fitsapana ultrasonika, dia azo amboarina mialoha amin'ny lavaka fametrahana sy fitoeran-tariby mazava tsara ny fototra, mba ahafahana mametraka haingana sy marina ny fitaovana ary mampihena ny fivilian-dalana amin'ny fitadiavana vokatry ny lesoka amin'ny fametrahana.
III. Fahamarinana maharitra: Mampihena ny fahaverezan'ny fahamarinan-toerana vokatry ny fikojakojana ny fitaovana
Manana hamafin'ny granita avo lenta sy fanoherana ny fikikisana matanjaka, miaraka amin'ny hamafin'ny Mohs 6 ka hatramin'ny 7, izay avo telo heny noho ny fanoherana ny fikikisana vy mahazatra. Mandritra ny fanaraha-maso maharitra, ny velaran'ny fotony milina dia tsy mora simba ary afaka mitazona ny toetry ny fahamarinan-toerana tsara foana. Mifanohitra amin'izany kosa, ny fotony vita amin'ny fitaovana hafa dia mety hiteraka fiovana eo amin'ny fametrahana ny fitaovana noho ny fikikisana sy ny rovitra, ka misy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fitadiavana ary mitaky fanitsiana sy fikojakojana matetika. Ny faharetan'ny fampiasana sy ny fahamarinan-toerana avo lenta amin'ny fotony granita dia mampihena tsara ny faharetan'ny fikojakojana ny fitaovana ary mampihena ny mety ho fahaverezan'ny fahamarinan-toerana izay mety hitranga mandritra ny dingana fikojakojana.
Manomboka amin'ny fanoherana ny dona, ny fanoherana ny hafanana ka hatramin'ny famolavolana mazava tsara, ny endri-javatra rehetra amin'ny fototra granita dia miaro ny fahamarinan'ny fitsapana tsy manimba ny wafers. Amin'izao vanim-potoanan'ny famokarana semiconductor izao izay mikatsaka ny fahamarinan-toerana ambony indrindra, ny fisafidianana fototra granita avo lenta dia toy ny fanampiana sosona fiantohana matanjaka amin'ny fahamarinan'ny valin'ny fitsapana sy ny fahatokisana.
Fotoana fandefasana: 18 Jona 2025