Singa fitaratra mazava tsara ao amin'ny rafitra optika: Fampiharana sy fanamby amin'ny famokarana

Ny fitaratra optika no andrin'ny fotonika maoderina. Miha-henjana hatrany ny fepetra takiana amin'ireo singa ireo, manomboka amin'ny fifandraisana ka hatramin'ny fiarovana.

Ao anatin'ny rafitra laser mahery vaika, ny singa optika dia tsy maintsy mahazaka hakitroky ny angovo goavana. Ny lesoka na loto mikroskopika rehetra ao amin'ny fitaratra dia mety hiteraka fahasimbana vokatry ny laser, izay manimba ny rafitra manontolo. Ny fifantohana amin'ny famokarana eto dia ny fanesorana ny fahasimbana ambanin'ny tany sy ny fiantohana ny fitoviana avo lenta mba hisorohana ny fikorontanan'ny taratra.

Rehefa mitombo ny haben'ny lavaka (mihoatra ny 4 metatra ankehitriny) amin'ny teleskaopy habakabaka sy ny fitaovana fanaraha-maso lavitra, dia mihamafy ny fepetra takiana amin'ny fahamaivanana sy ny fahamarinan'ny velarana. Tsy maintsy mitazona ny endriny amin'ny tontolo mafana tafahoatra ny singa optika ho an'ny habakabaka, ka mitaky fitaovana manana coefficient fanitarana hafanana ambany dia ambany.

Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny rafitra lithography EUV dia miantehitra amin'ny fitaratra taratra izay voafehy ho latsaky ny 0.1 nm (RMS) ny harafesina amboniny. Na dia ny fivontosana amin'ny ambaratonga atomika aza dia afaka mampiely hazavana ary manimba ny famaha ny puce. Izany no maneho ny fara tampon'ny famokarana fitaratra optika.

Ny Fanamby amin'ny Famokarana: Fihenjanana, Fisaka ary Fahalemena

1. Fifehezana ny adin-tsaina anatiny

• Ny Fanamby: Ny fanodinana fitaratra mafy sy mora vaky matetika dia miteraka fihenjanana madinika.
• Ny fomba fiasanay: Mampiasa fomba fanafanana mandroso sy teknika fanamboarana tsy dia manimba loatra izahay. Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso hentitra ny tahan'ny fampangatsiahana sy ny fampiasana paikady fanodinana mampihena ny fihenjanana, dia miantoka izahay fa mijanona ho tsy miandany sy marin-toerana ny rafitra anatiny.

2. Fanatanterahana ny fisaka avo lenta (fahitsiana ambany matetika)

• Ny Fanamby: Ny fikosoham-bary nentim-paharazana dia mety hiteraka fihovitrovitra na hamorona lesoka izay mampihena ny fahamarinan'ny onja.
• Ny fomba fiasanay: Mampiasa "optical surfacing" fehezin'ny solosaina (CCOS) avo lenta izahay. Izany dia ahafahanay manitsy ny lesoka amin'ny fatran'ny hazavana ambany (fivilian-dalana amin'ny endrika) mba hahazoana ny sanda "peak-to-valley" (PV) izay matetika latsaky ny 1 nm, mba hahazoana antoka fa mifanaraka tsara ny lalan'ny hazavana.

3. Fahasarotam-piaro amin'ny ety ivelany (Fahamalemozana matetika)

• Ny Fanamby: Ny fanesorana ny "zavona" sy ny ratra madinika ateraky ny fikosoham-bary dia mitaky fifindrana avy amin'ny fanesorana fitaovana mankany amin'ny fanalefahana ny ety ivelany.
• Ny fomba fiasanay: Mampiasa teknolojia fanosotra mandroso izahay, anisan'izany ny famaranana amin'ny alalan'ny andriamby. Ity teknika ity dia ahafahana manodina endrika sarotra (toy ny family misy endrika malalaka) sady mahatratra ny harafesina ambanin'ny nanomemetatra (Ra < 0.6 nm) nefa tsy miteraka fahasimbana vaovao eo ambanin'ny tany.

ZHHIMG: Ny mpiara-miasa aminao amin'ny Ultra-Precision

• Jeometrika sarotra: Fanamboarana singa optika misy endrika malalaka, asferika ary fisaka.
• Fandrefesana sy Fanaraha-maso: Mampiasa interferometer sy profilometer mba hanamarinana ny kalitaon'ny ety ivelany sy ny fahamarinan'ny endrika amin'ny fotoana tena izy.
• Fahaizana manokana momba ny fitaovana: Traikefa lalina amin'ny silica mifangaro, quartz, ary solomaso optika manokana izay fantatra amin'ny fahafahany mamindra hazavana avo lenta sy mivelatra ambany.