Akora ampiasaina matetika amin'ny indostrian'ny semiconductor ny granita noho ny toetrany mekanika tsara dia tsara, ny fahamarinan-toerana ara-hafanana, ary ny coefficient de expansion à l'hémorragie ambany. Na izany aza, miaraka amin'ny fitomboan'ny fangatahana fahamarinan-toerana sy vokatra ambony kokoa, dia nipoitra ho safidy azo ampiharina amin'ny fanamboarana singa fitaovana semiconductor ny akora hafa. Ato amin'ity lahatsoratra ity, dia handinika ny sasany amin'ireo akora hafa ho an'ny ampahany granita amin'ny fitaovana semiconductor isika ary hampitaha ny tombony sy ny fatiantokany.
Akora hafa ho an'ny ampahany granita
1. Akora vita amin'ny fitaratra-seramika
Ny fitaovana seramika-fitaratra, toy ny Zerodur sy Cervit, dia niely patrana tamin'ny indostrian'ny semiconductor noho ny coefficient expansion thermal ambany ananany, izay akaiky ny an'ny silikônina. Vokatr'izany, ireo fitaovana ireo dia afaka manome fahamarinan-toerana mafana tsara kokoa sy fahamarinan-toerana bebe kokoa amin'ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor. Ny Zerodur, indrindra indrindra, dia manana homogeneity sy fahamarinan-toerana avo lenta, ka mahatonga azy io ho mety amin'ny fanamboarana fitaovana litografia.
Tombony:
- Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana ambany
- Fahitsiana sy fahamarinan-toerana avo lenta
- Azo ampiasaina amin'ny mari-pana avo
Fatiantoka:
- Vidiny ambony kokoa raha oharina amin'ny granita
- Mora vaky, mety hiteraka olana amin'ny fanodinana sy ny fikirakirana
2. Seramika
Ireo fitaovana seramika, toy ny oksida aliminioma (Al2O3), karbida silikônina (SiC), ary nitrida silikônina (Si3N4), dia manana toetra mekanika tena tsara, fanoherana ny mari-pana avo lenta, ary coefficient fivelarana mafana ambany. Ireo toetra ireo dia mahatonga ny seramika ho tsara indrindra ho an'ny fitaovana semiconductor izay mitaky fahamarinan-toerana sy fahamarinan-toerana mafana avo lenta, toy ny dingana wafer sy chucks.
Tombony:
- Faharetana sy tanjaka avo lenta amin'ny hafanana
- Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana ambany
- Fanoherana ny fikikisana sy ny tsy fahatomombanan'ny simika
Fatiantoka:
- Mety ho mora vaky sy mitriatra, indrindra mandritra ny fanodinana sy ny fikirakirana
- Mety ho sarotra sy mandany fotoana ny fanodinana sy ny famolahana seramika
3. Metaly
Ny akora vita amin'ny metaly, toy ny vy tsy misy harafesina sy ny titane, dia nampiasaina ho an'ny ampahany sasany amin'ny fitaovana semiconductor noho ny fahaizany manamboatra sy ny tanjaka avo lenta. Matetika izy ireo no ampiasaina amin'ny fampiharana izay tsy ilaina ny fahamarinan-toerana mafana avo lenta, toy ny ampahany amin'ny chamber, couplings, ary feedthroughs.
Tombony:
- Mora ampiasaina sy mora solderina tsara
- Tanjaka sy mora mivelatra
- Mora vidy raha oharina amin'ny sasany amin'ireo akora hafa
Fatiantoka:
- Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana avo lenta
- Tsy mety amin'ny fampiasana amin'ny mari-pana avo noho ny olana amin'ny fivelaran'ny hafanana
- Mora simba sy voaloto
Fehin-kevitra:
Raha fintinina, na dia safidy malaza ho an'ny kojakoja fitaovana semiconductor aza ny granita, dia nipoitra ireo fitaovana hafa, samy manana ny tombony sy ny fatiantokany manokana. Ny fitaovana fitaratra-seramika dia tena marina sy marin-toerana saingy mety ho mora vaky. Ny seramika dia matanjaka ary manana fahamarinan-toerana mafana tsara saingy mety ho mora vaky ihany koa, ka mahatonga azy ireo ho sarotra kokoa ny manamboatra azy. Tsy lafo ny metaly, mora ampiasaina ary mora mivelatra, saingy manana coefficient de expansion mafana ambony kokoa izy ireo ary mora harafesina sy voaloto. Rehefa mifidy fitaovana ho an'ny fitaovana semiconductor, dia zava-dehibe ny mandinika ireo fepetra takiana manokana amin'ny fampiharana ary misafidy fitaovana izay mandanjalanja ny vidiny, ny fahombiazana ary ny fahatokisana.
Fotoana fandefasana: 19 Martsa 2024