ny
Eo amin'ny sehatry ny famokarana semiconductor, ny fahamarinan'ny fitaovana fanaraha-maso wafer dia mamaritra mivantana ny kalitao sy ny vokatra chips. Amin'ny maha-fototra manohana ireo singa fanaraha-maso fototra, ny fahamarinan-toerana amin'ny fitaovana fototra dia manana anjara toerana lehibe amin'ny fampandehanana maharitra ny fitaovana. Ny granita sy ny vy dia fitaovana fototra roa ampiasaina amin'ny fitaovana fisafoana wafer. Ny fandalinana fampitahana naharitra 10 taona dia nanambara ny fahasamihafana lehibe eo amin'izy ireo amin'ny lafiny fahamarinan-toerana amin'ny refy, manome fanondroana manan-danja amin'ny fisafidianana fitaovana. ny
Famolavolana sy famolavolana
Ny fizotran'ny famokarana wafers semiconductor dia manana fepetra avo lenta ho an'ny fahitsiana marina. Na dia ny fivilian'ny refy micrometer aza dia mety hitarika amin'ny fihenan'ny fahombiazan'ny chip na ny fikoropahana mihitsy aza. Mba hijerena ny fahamarinan-toeran'ny granita sy ny vy vita amin'ny vy mandritra ny fampiasana maharitra, ny ekipa mpikaroka dia nanamboatra andrana izay nanamboatra tontolo iainana tena izy. Ny santionan'ny granita sy ny vy mitovy amin'izany dia nofantenana ary napetraka tao amin'ny efitranon'ny tontolo iainana izay niovaova ny mari-pana avy amin'ny 15 ℃ ka hatramin'ny 35 ℃ ary ny hamandoana dia 30% hatramin'ny 70% RH. Ny fihovitrovitra mekanika mandritra ny fampandehanana ny fitaovana dia novolavolaina tamin'ny alàlan'ny latabatra fihetsehana. Ny refin'ny santionany dia norefesina isaky ny telovolana tamin'ny alalan'ny interferometer laser avo lenta, ary voarakitra an-tsoratra tsy tapaka nandritra ny 10 taona ny angon-drakitra. ny
Vokatra andrana: Ny tombony tanteraka amin'ny granita
Folo taona tamin'ny angona andrana dia mampiseho fa ny substrate granita dia mampiseho fitoniana mahagaga. Ny coefficient ny fanitarana mafana dia ambany dia ambany, ny salan'isa afa-tsy 4.6×10⁻⁶/℃. Ao anatin'ny fiovan'ny mari-pana mahery vaika, ny fivilian-damosina dia voafehy foana ao anatin'ny ± 0.001mm. Manoloana ny fiovan'ny hamandoana, ny rafitra matevina amin'ny granita dia mahatonga azy ho saika tsy hisy fiantraikany, ary tsy misy fiovana azo refesina mitranga. Ao amin'ny tontolo manodidina ny fihovitrovitra mekanika, ny toetran'ny granita tsara indrindra dia mitroka angovo amin'ny vibration, ary kely dia kely ny fiovaovan'ny refy. ny
Mifanohitra amin'izany kosa, ho an'ny substrate vita amin'ny vy, ny salan'isan'ny fanitarana mafana dia mahatratra 11 × 10⁻⁶ / ℃ - 13 × 10⁻⁶ / ℃, ary ny fiviliana lehibe indrindra vokatry ny fiovan'ny mari-pana ao anatin'ny 10 taona dia ± 0.05mm. Ao amin'ny tontolo mando, ny vy dia mora harafesina sy harafesina. Ny santionany sasany dia mampiseho ny deformation eo an-toerana, ary mitombo bebe kokoa ny fivilian-damosina. Eo ambanin'ny fihetsiky ny fihovitrovitra mekanika, ny vy vita amin'ny vibration dia tsy mahomby ary miovaova matetika ny habeny, ka sarotra ny manatratra ny fepetra avo lenta amin'ny fisafoana wafer. ny
Ny antony lehibe mahatonga ny fahasamihafan'ny fitoniana
Ny granita dia niforona nandritra ny an-jatony tapitrisa taona maro tamin'ny alàlan'ny dingana ara-jeolojika. Ny rafitra anatiny dia matevina sy mitovitovy, ary ny kristaly mineraly dia voalamina tsara, manala ny adin-tsaina anatiny amin'ny natiora. Izany dia mahatonga azy ho tena tsy mahazaka ny fiovan'ny anton-javatra ivelany toy ny hafanana, ny hamandoana ary ny fihovitrovitra. Ny vy dia vita amin'ny dingan-dava ary misy lesoka bitika toy ny pores sy lavaka fasika ao anatiny. Mandritra izany fotoana izany, ny adin-tsaina sisa tavela mandritra ny dingan'ny fanariana dia mora miteraka fiovan'ny refy eo ambanin'ny fanentanana ny tontolo ivelany. Ny toetran'ny vy vita amin'ny metaly dia mahatonga azy ho mora harafesina noho ny hamandoana, manafaingana ny fahasimbana ara-drafitra ary mampihena ny fahamarinan-toerana. ny
Ny fiantraikan'ny fitaovana fanaraha-maso wafer
Ny fitaovana fanaraha-maso Wafer mifototra amin'ny substrate granita, miaraka amin'ny fahombiazany amin'ny habeny maharitra, dia afaka miantoka fa ny rafitra fanaraha-maso dia mitazona fepetra avo lenta mandritra ny fotoana maharitra, mampihena ny fiheverana diso sy ny tsy fahampian'ny fahitana vokatry ny fihodinan'ny fitaovana, ary manatsara ny vokatra vokatra. Mandritra izany fotoana izany, ny fepetra fikojakojana ambany dia mampihena ny vidin'ny tsingerin'ny fiainana feno amin'ny fitaovana. Ny fitaovana mampiasa substrate vy vita amin'ny vy, noho ny tsy fitoniana amin'ny refy, dia mitaky calibration sy fikojakojana matetika. Tsy vitan'ny hoe mampitombo ny fandaniana amin'ny asa izany fa mety hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny famokarana semiconductor ihany koa noho ny tsy fahampian'ny fahitsiana, ka miteraka fatiantoka ara-toekarena. ny
Eo ambanin'ny fironan'ny indostrian'ny semiconductor fikatsahana mari-pahaizana ambony kokoa sy kalitao tsara kokoa, ny fisafidianana ny granita ho fitaovana fototra ho an'ny fitaovana fisafoana wafer dia tsy isalasalana fa hetsika hendry mba hahazoana antoka ny fahombiazan'ny fitaovana ary manatsara ny fifaninanana amin'ny orinasa. ny
Fotoana fandefasana: May-14-2025