Eo amin'ny sehatry ny fanamboarana semiconductor, ny fahamarinan'ny fitaovana fanaraha-maso wafer dia mamaritra mivantana ny kalitao sy ny vokatra azo avy amin'ny puce. Amin'ny maha-fototra manohana ny singa famantarana fototra azy, ny fahamarinan'ny refy amin'ny fitaovana fototra dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fahombiazan'ny fitaovana mandritra ny fotoana maharitra. Ny granita sy ny vy natsipy dia fitaovana fototra roa ampiasaina matetika amin'ny fitaovana fanaraha-maso wafer. Ny fanadihadiana fampitahana naharitra 10 taona dia naneho ny fahasamihafana lehibe misy eo amin'izy ireo raha ny amin'ny fahamarinan'ny refy, izay manome referansa manan-danja amin'ny fisafidianana fitaovana.
Fototra sy Endrika Fanandramana
Tena avo lenta ny fepetra takiana amin'ny fahamarinan'ny fitiliana ny fizotran'ny famokarana "semiconductor wafers". Na dia ny fivilian-dàlana amin'ny refy mikrômetatra aza dia mety hiteraka fihenan'ny fahombiazan'ny "chip" na ny fako mihitsy aza. Mba handinihana ny fahamarinan'ny refy amin'ny granita sy vy natsipy mandritra ny fampiasana maharitra, dia namorona andrana ny ekipa mpikaroka izay naka tahaka ny tontolo iainana tena izy. Nofantenana ny santionan'ny granita sy vy natsipy mitovy amin'ny famaritana ary napetraka tao anaty efitrano tontolo iainana izay miovaova ny mari-pana manomboka amin'ny 15℃ ka hatramin'ny 35℃ ary miovaova ny hamandoana manomboka amin'ny 30% ka hatramin'ny 70% RH. Nohadihadiana tamin'ny alalan'ny tabilao hovitrovitra ny hovitrovitra mekanika nandritra ny fiasan'ny fitaovana. Norefesina isaky ny telovolana ny refy fototra amin'ny santionany tamin'ny fampiasana "interferometer laser" avo lenta, ary noraketina tsy tapaka nandritra ny 10 taona ny angon-drakitra.
Vokatra azo tamin'ny andrana: Ny tombony azo avy amin'ny granita
Asehon'ny angon-drakitra fanandramana folo taona fa mampiseho fahamarinan-toerana mahavariana ny substrate granite. Tena ambany dia ambany ny coefficient-n'ny fivelarany ara-hafanana, 4.6 × 10⁻⁶/℃ amin'ny salan'isa. Rehefa miova be ny mari-pana, dia voafehy ao anatin'ny ±0.001mm foana ny fivilian-dàlana amin'ny refy. Rehefa miova ny hamandoana, dia mahatonga azy ho saika tsy misy fiantraikany amin'ny firafitry ny granite matevina izany, ary tsy misy fiovana azo refesina amin'ny refy. Ao anatin'ny tontolo iainana misy hovitrovitra mekanika, ny toetra tsaran'ny granite amin'ny fampihenana ny hamandoana dia mandray tsara ny angovon'ny hovitrovitra, ary tena kely dia kely ny fiovaovan'ny refy.
Mifanohitra amin'izany kosa, ho an'ny substrate vy natsipy, ny coefficient-n'ny fanitarana mafana antonony dia mahatratra 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, ary ny fivilian-dàlana ambony indrindra vokatry ny fiovan'ny mari-pana ao anatin'ny 10 taona dia ±0.05mm. Ao anaty tontolo mando, ny vy natsipy dia mora harafesina sy harafesina. Ny santionany sasany dia mampiseho fiovaovan'ny endrika eo an-toerana, ary mitombo hatrany ny fivilian-dàlana. Eo ambanin'ny fiantraikan'ny hovitrovitra mekanika, ny vy natsipy dia manana fahombiazana ambany amin'ny fampihenana ny hovitrovitra ary miovaova matetika ny habeny, ka mahatonga azy ho sarotra ny mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fanaraha-maso ny wafer.
Ny antony lehibe mahatonga ny fahasamihafan'ny fahamarinan-toerana
Niforona nandritra ny an-jato tapitrisa taona ny granita tamin'ny alalan'ny dingana ara-jeolojika. Matevina sy mitovy ny rafitra anatiny, ary milamina tsara ny kristaly mineraly, ka manafoana ny fihenjanana anatiny. Izany dia mahatonga azy ho tsy mora tohina amin'ny fiovan'ny anton-javatra ivelany toy ny mari-pana, ny hamandoana ary ny hovitrovitra. Vita amin'ny alalan'ny dingana fanariana ny vy ary misy lesoka bitika toy ny mason-koditra sy lavaka fasika ao anatiny. Mandritra izany fotoana izany, ny fihenjanana sisa tavela ateraky ny dingana fanariana dia mora miteraka fiovan'ny refy eo ambanin'ny fanentanana avy amin'ny tontolo ivelany. Ny toetran'ny metaly amin'ny vy dia mahatonga azy ho mora harafesina noho ny hamandoana, manafaingana ny fahasimban'ny rafitra ary mampihena ny fahamarinan'ny refy.
Ny fiantraikany amin'ny fitaovana fanaraha-maso ny wafer
Ny fitaovana fanaraha-maso Wafer miorina amin'ny substrate granite, miaraka amin'ny fahombiazany marin-toerana, dia afaka miantoka fa ny rafitra fanaraha-maso dia mitazona fahamarinan-toerana avo lenta mandritra ny fotoana maharitra, mampihena ny fahadisoana sy ny tsy fahitana vokatry ny fiovaovan'ny fahamarinan'ny fitaovana, ary manatsara be ny vokatra. Mandritra izany fotoana izany, ny fepetra takiana amin'ny fikojakojana ambany dia mampihena ny vidin'ny tsingerin'ny androm-piainan'ny fitaovana. Ny fitaovana mampiasa substrate vy, noho ny tsy fahamarinan-toerana amin'ny refy, dia mitaky fanitsiana sy fikojakojana matetika. Izany dia tsy vitan'ny hoe mampitombo ny vidin'ny fandidiana fa mety hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny famokarana semiconductor ihany koa noho ny tsy fahampian'ny fahamarinan-toerana, izay miteraka fatiantoka ara-toekarena mety hitranga.
Eo ambany fironana fikatsahan'ny indostrian'ny semiconductor ny fahamarinan-toerana ambony kokoa sy ny kalitao tsara kokoa, ny fisafidianana ny granita ho fitaovana fototra amin'ny fitaovana fanaraha-maso wafer dia tsy isalasalana fa dingana hendry mba hahazoana antoka ny fahombiazan'ny fitaovana sy hampitomboana ny fifaninanana eo amin'ny orinasa.
Fotoana fandefasana: 14 Mey 2025