Ao anatin'ny dingan'ny indostrian'ny semiconductor mankany amin'ny fizotran'ny famokarana nanoscale, ny fanapahana wafer, ho toy ny rohy lehibe amin'ny famokarana chip, dia manana fepetra henjana ho an'ny fahamarinan'ny fitaovana. Ny fototra granita, miaraka amin'ny fanoherana ny vibration miavaka sy ny fahamarinan-toerana mafana, dia nanjary singa fototra amin'ny fitaovana fanapahana wafer, manome antoka azo antoka amin'ny fanatanterahana ny fanodinana wafer avo lenta sy mahomby. ny
Toetran'ny damping sy anti-vibration avo lenta: Miaro ny fanipazana ny haavon'ny nano
Rehefa miasa ny fitaovana fanapahana wafer, ny fihodinana haingam-pandeha amin'ny spindle, ny fihovitrovitra avo lenta amin'ny fitaovana fanapahana, ary ny fihovitrovitra ara-tontolo iainana vokatry ny fitaovana manodidina dia hisy fiantraikany lehibe amin'ny fanapahana marina. Ny fampandehanana damping ny fototra metaly nentim-paharazana dia voafetra, ka sarotra ny attenuate haingana vibration, izay mitarika ho amin'ny micron-level jitter ny fitaovana fanapahana ary mivantana miteraka kilema toy ny chipped sisiny sy ny triatra amin'ny wafers. Ny toetra mampiavaka ny fototra granita dia namaha io olana io. ny
Ny kristaly mineraly anatiny amin'ny granita dia mifamatotra akaiky, mamorona rafitra fanaparitahana angovo voajanahary. Rehefa ampitaina amin'ny fotony ny vibration, ny microstructure anatiny dia afaka mamadika haingana ny angovo vibration ho angovo mafana, hahatratrarana ny fihenan'ny vibration mahomby. Ny angon-drakitra andrana dia mampiseho fa eo ambanin'ny tontolon'ny vibration mitovy, ny base granita dia afaka manalefaka ny amplitude vibration mihoatra ny 90% ao anatin'ny 0.5 segondra, raha ny fototra metaly kosa dia mitaky 3 ka hatramin'ny 5 segondra. Ity fampisehoana fandrefesana miavaka ity dia miantoka fa ny fitaovana fanapahana dia mijanona ho marin-toerana mandritra ny dingan'ny fanapahana nanoscale, miantoka ny sisiny malefaka amin'ny fanapahana wafer ary mampihena amin'ny fomba mahomby ny tahan'ny chipping. Ohatra, amin'ny dingana fanapahana wafer 5nm, ny fitaovana misy fototra granita dia afaka mifehy ny haben'ny chipping ao anatin'ny 10μm, izay mihoatra ny 40% ambony noho ny an'ny fitaovana misy fototra metaly. ny
Coefficient faran'izay ambany amin'ny fanitarana mafana: Mahatohitra ny fiantraikan'ny fiovaovan'ny mari-pana
Nandritra ny fizotry ny fanapahana wafer, ny hafanana ateraky ny fikorontanan'ny fitaovana fanapahana, ny fiparitahan'ny hafanana avy amin'ny fampandehanana maharitra ny fitaovana, ary ny fiovan'ny mari-pana amin'ny tontolo iainana atrikasa dia mety hiteraka fiovan'ny hafanana amin'ny fitaovana. Ny coefficient ny fanitarana mafana ny fitaovana metaly dia somary avo (eo ho eo 12 × 10⁻⁶ / ℃). Rehefa miovaova ny mari-pana amin'ny 5 ℃, ny fototra metaly 1 metatra dia mety hiharan'ny deformation 60μm, ka mahatonga ny toeran'ny fanapahana hiova ary hisy fiantraikany lehibe amin'ny fahatapahana marina. ny
Ny coefficient ny fanitarana mafana amin'ny fototra granita dia (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, izay latsaky ny iray ampahatelon'ny fitaovana metaly. Eo ambanin'ny fiovan'ny mari-pana mitovy, dia azo tsinontsinoavina ny fiovan'ny refy. Ny angon-drakitra refesina amin'ny orinasa mpamokatra semiconductor sasany dia mampiseho fa mandritra ny 8-ora mitohy ny asa fanapahana wafer avo lenta, rehefa miovaova ny mari-pana manodidina ny 10 ℃, ny toeran'ny fanapahana ny fitaovana miaraka amin'ny fototra granita dia latsaky ny 20μm, raha mihoatra ny 60μm ny an'ny fitaovana misy fototra vy. Ity fampisehoana mafana tsy miovaova ity dia miantoka fa ny toerana misy eo anelanelan'ny fitaovana fanapahana sy ny wafer dia mijanona ho marina amin'ny fotoana rehetra. Na dia ao anatin'ny fampandehanana maharitra maharitra na fiovana mahery vaika amin'ny mari-pana amin'ny tontolo iainana aza, dia azo tazonina ny tsy fitovian'ny fanapahana marina. ny
Rigidity sy ny fanoherana ny fitafy: Miantoka ny fiasan'ny fitaovana maharitra maharitra
Ho fanampin'ny tombony amin'ny fanoherana ny vibration sy ny fahamarinan-toerana mafana, ny fahamendrehana avo sy ny fanoherana ny fanoherana ny granita dia manatsara kokoa ny fahamendrehan'ny fitaovana fanapahana wafer. Ny granita dia manana hamafin'ny 6 ka hatramin'ny 7 amin'ny mari-pamantarana Mohs ary hery fanerena mihoatra ny 120MPa. Izy io dia mahatohitra ny fanerena sy ny fiatraikany mahery vaika mandritra ny fizotry ny fanapahana ary tsy mora amin'ny deformation. Mandritra izany fotoana izany, ny firafiny matevina dia manome azy amin'ny fanoherana tsara. Na dia mandritra ny asa fanapahana matetika aza dia tsy mora ny mitafy ny eny ambonin'ny fotony, ka miantoka fa ny fitaovana dia mitazona ny fiasa avo lenta mandritra ny fotoana maharitra. ny
Amin'ny fampiharana azo ampiharina, orinasa mpamokatra wafer maro no nanatsara ny vokatra sy ny fahombiazan'ny famokarana tamin'ny alàlan'ny fampiasana fitaovana fanapahana misy fototra granita. Ny angon-drakitra avy amin'ny orinasa mpanamboatra eran-tany dia mampiseho fa rehefa avy nampidirina ny fitaovana fototra granita, dia nitombo avy amin'ny 88% ka hatramin'ny 95% ny vokatra fanapahana wafer, nitarina in-telo ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana, mampihena ny vidin'ny famokarana ary manatsara ny fifaninanana amin'ny tsena. ny
Ho fehin-kevitra, ny fototra granita, miaraka amin'ny fanoherana ny vibration tsara indrindra, ny fahamarinan-toerana mafana, ny henjana avo ary ny fanoherana ny fitafy, dia manome antoka fampiasa feno ho an'ny fitaovana fanapahana wafer. Rehefa mandroso ny teknolojia semiconductor mankany amin'ny mari-pahaizana ambony kokoa, ny fototra granita dia hanana anjara toerana lehibe kokoa eo amin'ny sehatry ny famokarana wafer, hampiroborobo ny fivoaran'ny indostrian'ny semiconductor.
Fotoana fandefasana: May-20-2025