Ao anatin'ny dingan'ny indostrian'ny semiconductor mankany amin'ny dingana famokarana nanoscale, ny fanapahana wafer, izay rohy fototra amin'ny famokarana puce, dia manana fepetra henjana dia henjana ho an'ny fahamarinan'ny fitaovana. Ny fototra granita, miaraka amin'ny fanoherana ny hovitrovitra sy ny fahamarinan'ny hafanana miavaka, dia lasa singa fototra amin'ny fitaovana fanapahana wafer, izay manome antoka azo antoka amin'ny fahazoana fanodinana wafer avo lenta sy mahomby.
Toetra mampiavaka ny fampihenana ny hamandoana sy ny fanoherana ny hovitrovitra: Miaro ny fahamarinan'ny fanapahana amin'ny ambaratonga nano
Rehefa miasa ny fitaovana fanapahana "wafer", ny fihodinan'ny "spindle" haingam-pandeha, ny hovitrovitra matetika avoakan'ny fitaovana fanapahana, ary ny hovitrovitra manodidina dia samy hisy fiantraikany lehibe amin'ny fahamarinan'ny fanapahana. Voafetra ny fahombiazan'ny "damping" amin'ny fototra metaly nentim-paharazana, ka mahatonga azy ho sarotra ny mampihena haingana ny hovitrovitra, izay mitarika ho amin'ny fihovitrovitra amin'ny ambaratonga mikrônôn'ny fitaovana fanapahana ary miteraka lesoka mivantana toy ny sisiny vaky sy triatra amin'ny "wafer". Ny toetra avo lenta amin'ny "damping" amin'ny fototra granita dia namaha tanteraka ity olana ity.
Mifamatotra akaiky ireo kristaly mineraly ao anatin'ny granita, ka mamorona rafitra fanariana angovo voajanahary. Rehefa alefa any amin'ny fotony ny hovitrovitra, dia afaka manova haingana ny angovon'ny hovitrovitra ho angovo mafana ny rafitra anatiny, ka mahatratra ny fihenan'ny hovitrovitra mahomby. Asehon'ny angon-drakitra andrana fa ao anatin'ny tontolo iainana hovitrovitra mitovy, dia afaka mampihena ny haben'ny hovitrovitra mihoatra ny 90% ao anatin'ny 0.5 segondra ny fotony granita, raha toa kosa ka mila 3 ka hatramin'ny 5 segondra ny fotony metaly. Io fahombiazana miavaka amin'ny fampihenana io dia miantoka fa mijanona ho marin-toerana ny fitaovana fanapahana mandritra ny dingana fanapahana amin'ny ambaratonga nano, izay miantoka ny sisiny malama amin'ny fanapahana wafer ary mampihena tsara ny tahan'ny fikikisana. Ohatra, amin'ny dingana fanapahana wafer 5nm, ny fitaovana misy fotony granita dia afaka mifehy ny haben'ny fikikisana ao anatin'ny 10μm, izay mihoatra ny 40% ambony noho ny an'ny fitaovana misy fotony metaly.
Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana ambany dia ambany: Mahatohitra ny fiovaovan'ny mari-pana
Mandritra ny fizotran'ny fanapahana "wafer", ny hafanana ateraky ny fifandonana amin'ny fitaovana fanapahana, ny fiparitahan'ny hafanana vokatry ny fiasan'ny fitaovana maharitra, ary ny fiovan'ny mari-pana ao amin'ny toeram-piasana dia mety hiteraka fiovaovan'ny mari-pana amin'ny singa ao amin'ny fitaovana. Somary avo ny coefficient de expansion mafana amin'ny fitaovana metaly (eo amin'ny 12×10⁻⁶/℃). Rehefa miovaova 5℃ ny mari-pana, dia mety hiovaova 60μm ny fotony metaly 1 metatra ny halavany, ka mahatonga ny toerana fanapahana hiova ary hisy fiantraikany lehibe amin'ny fahamarinan'ny fanapahana.
Ny coefficient-n'ny fivelaran'ny hafanana amin'ny fotony granita dia (4-8) ×10⁻⁶/℃ ihany, izay latsaky ny ampahatelon'ny an'ny fitaovana metaly. Eo ambanin'ny fiovan'ny mari-pana mitovy, dia saika tsy raharahiana ny fiovan'ny refy. Ny angon-drakitra voarefy avy amin'ny orinasa mpamokatra semiconductor iray dia mampiseho fa mandritra ny fandidiana fanapahana wafer mahery vaika mitohy mandritra ny 8 ora, rehefa miovaova 10℃ ny mari-pana manodidina, dia latsaky ny 20μm ny toerana fanapahana amin'ny fitaovana misy fotony granita, raha mihoatra ny 60μm kosa ny an'ny fitaovana misy fotony metaly. Io fahombiazana ara-thermal marin-toerana io dia miantoka fa ny toerana misy eo amin'ny fitaovana fanapahana sy ny wafer dia mijanona ho marina amin'ny fotoana rehetra. Na dia eo ambanin'ny fandidiana mitohy maharitra na fiovana goavana amin'ny mari-pana manodidina aza, dia azo tazonina ny fitoviana amin'ny fahamarinan'ny fanapahana.
Henjana sy fanoherana ny fikikisana: Miantoka ny fiasan'ny fitaovana maharitra sy marin-toerana
Ankoatra ny tombony azo avy amin'ny fanoherana ny hovitrovitra sy ny fahamarinan'ny hafanana, ny hamafin'ny fototra granita sy ny fanoherana ny fikikisana dia mampitombo bebe kokoa ny fahatokisan'ny fitaovana fanapahana wafer. Ny granita dia manana hamafin'ny 6 ka hatramin'ny 7 amin'ny maridrefy Mohs ary ny tanjaka famoretana mihoatra ny 120MPa. Afaka mahatanty ny tsindry mafy sy ny hery dona mandritra ny dingana fanapahana izy ary tsy mora miova endrika. Mandritra izany fotoana izany, ny rafitra matevina dia manome azy fanoherana ny fikikisana tsara. Na dia mandritra ny fandidiana fanapahana matetika aza, ny velaran'ny fototra dia tsy mora simba, izay miantoka fa ny fitaovana dia mitazona ny fiasan'ny fitaovana amin'ny fahamarinan-toerana avo lenta mandritra ny fotoana maharitra.
Amin'ny fampiharana azo ampiharina, orinasa mpanao wafer maro no nanatsara be ny vokatra sy ny fahombiazan'ny famokarana tamin'ny alàlan'ny fampiasana fitaovana fanapahana misy fototra granita. Ny angon-drakitra avy amin'ny orinasa mpanao vy lehibe indrindra eran-tany dia mampiseho fa taorian'ny fampidirana fitaovana fototra granita, dia nitombo avy amin'ny 88% ka hatramin'ny 95% mahery ny vokatra fanapahana wafer, ary nohalavaina intelo ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana, izay nampihena ny vidin'ny famokarana sy nanamafy ny fifaninanana teo amin'ny tsena.
Ho famaranana, ny fotony granita, miaraka amin'ny fanoherana tsara ny hovitrovitra, ny fahamarinan-toerana mafana, ny hamafin'ny fikikisana ary ny fanoherana ny fikikisana, dia manome antoka feno momba ny fahombiazan'ny fitaovana fanapahana wafer. Rehefa mandroso mankany amin'ny fahamarinan-toerana ambony kokoa ny teknolojia semiconductor, dia handray anjara lehibe kokoa amin'ny sehatry ny famokarana wafer ny fotony granita, ka hampiroborobo ny fivoarana tsy tapaka amin'ny indostrian'ny semiconductor.
Fotoana fandefasana: 20 Mey 2025