1. Fahamarinan'ny refy
Fisaka: tokony hahatratra fenitra avo dia avo ny fisakan'ny velaran'ny fotony, ary tsy tokony hihoatra ny ±0.5μm ny hadisoan'ny fisaka amin'ny faritra 100mm × 100mm; Ho an'ny sehatra fotony manontolo, ny hadisoan'ny fisaka dia voafehy ao anatin'ny ±1μm. Izany dia miantoka fa ny singa fototra amin'ny fitaovana semiconductor, toy ny lohan'ny fitaovana litografika sy ny latabatra probe amin'ny fitaovana fitadiavana puce, dia azo apetraka sy ampiasaina amin'ny sehatra avo lenta, miantoka ny fahamarinan'ny lalana optika sy ny fifandraisana amin'ny circuit amin'ny fitaovana, ary misoroka ny fivilian-dàlana ateraky ny sehatra tsy mitovy amin'ny fotony, izay misy fiantraikany amin'ny famokarana puce semiconductor sy ny fahamarinan'ny fitadiavana.
Fahahitsiana: Zava-dehibe ny fahahitsiana amin'ny sisiny tsirairay amin'ny fotony. Raha ny halavany no jerena, ny hadisoan'ny fahahitsiana dia tsy tokony hihoatra ny ±1μm isaky ny 1m; ny hadisoan'ny fahahitsiana diagonaly dia fehezina ao anatin'ny ±1.5μm. Raha raisina ho ohatra ny milina litografia avo lenta, rehefa mihetsika manaraka ny lalamby mpitari-dalana amin'ny fotony ny latabatra, ny fahahitsiana amin'ny sisin'ny fotony dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fahamarinan'ny dian'ny latabatra. Raha tsy mahafeno ny fenitra ny fahahitsiana, dia ho simba sy ho simba ny lamina litografia, ka hampihena ny vokatra azo avy amin'ny fanamboarana puce.
Paralisma: Ny hadisoan'ny paralisma amin'ny velaran-tany ambony sy ambany amin'ny fotony dia tokony ho fehezina ao anatin'ny ±1μm. Ny paralisma tsara dia afaka miantoka ny fahamarinan'ny foiben'ny hery misintona amin'ny ankapobeny aorian'ny fametrahana ny fitaovana, ary ny herin'ny singa tsirairay dia mitovy. Amin'ny fitaovana fanamboarana wafer semiconductor, raha tsy mitovy ny velaran-tany ambony sy ambany amin'ny fotony, dia hitongilana ny wafer mandritra ny fanodinana, izay misy fiantraikany amin'ny fitoviana amin'ny dingana toy ny fanosihosena sy ny fanosorana, ary noho izany dia misy fiantraikany amin'ny tsy fitoviana amin'ny fahombiazan'ny puce.
Faharoa, toetran'ny fitaovana
Hamafin'ny: Ny hamafin'ny fototra granita dia tokony hahatratra ny hamafin'ny Shore HS70 na mihoatra. Ny hamafin'ny avo dia afaka mahatohitra tsara ny fikikisana vokatry ny fihetsehana sy ny fifandonana matetika amin'ny singa mandritra ny fiasan'ny fitaovana, mba hahazoana antoka fa afaka mitazona habe avo lenta ny fototra aorian'ny fampiasana maharitra. Ao amin'ny fitaovana fonosana puce, ny sandrin'ny robot dia matetika mitazona sy mametraka ny puce eo amin'ny fototra, ary ny hamafin'ny fototra avo dia afaka miantoka fa tsy mora ny mikikitra ny ety ambonin'ny tany ary mitazona ny fahamarinan'ny fihetsehan'ny sandrin'ny robot.
Hakitroky: Tokony ho eo anelanelan'ny 2.6-3.1 g/cm³ ny hakitroky ny fitaovana. Ny hakitroky sahaza azy dia mahatonga ny fotony ho mafy orina tsara, izay afaka miantoka ny hamafin'ny fitaovana, ary tsy hiteraka olana amin'ny fametrahana sy fitaterana ny fitaovana noho ny lanja tafahoatra. Amin'ny fitaovana fanaraha-maso semiconductor lehibe, ny hakitroky ny fotony marin-toerana dia manampy amin'ny fampihenana ny fifindran'ny hovitrovitra mandritra ny fampiasana ny fitaovana ary manatsara ny fahamarinan'ny fitiliana.
Fahamarinan'ny hafanana: latsaky ny 5×10⁻⁶/℃ ny coefficient expansion linear. Mora tohina amin'ny fiovan'ny mari-pana ny fitaovana semiconductor, ary mifandray mivantana amin'ny fahamarinan'ny fitaovana ny fahamarinan'ny hafanana amin'ny fotony. Mandritra ny fizotran'ny litografia, ny fiovaovan'ny mari-pana dia mety hiteraka fanitarana na fihenan'ny fotony, ka miteraka fivilian-dalana eo amin'ny haben'ny lamina fiparitahana. Ny fotony granita manana coefficient expansion linear ambany dia afaka mifehy ny fiovan'ny habeny amin'ny elanelana kely dia kely rehefa miova ny mari-pana fiasan'ny fitaovana (matetika 20-30°C) mba hahazoana antoka ny fahamarinan'ny litografia.
Fahatelo, kalitaon'ny ety ambonin'ny tany
Fahasarotana: Ny sandan'ny haratoana amin'ny velarana Ra eo amin'ny fotony dia tsy mihoatra ny 0.05μm. Ny velarana malama dia afaka mampihena ny fidiran'ny vovoka sy ny loto ary mampihena ny fiantraikany amin'ny fahadiovan'ny tontolo iasan'ny fanamboarana puce semiconductor. Ao amin'ny atrikasa fanamboarana puce tsy misy vovoka, ny poti-javatra kely dia mety hiteraka lesoka toy ny circuit fohy amin'ny puce, ary ny velarana malama amin'ny fotony dia manampy amin'ny fitazonana ny tontolo iasan'ny atrikasa ho madio sy manatsara ny vokatra puce.
Lesoka mikroskopika: Tsy avela hisy triatra hita maso, lavaka fasika, mason-koditra ary lesoka hafa ny velaran'ny fotony. Amin'ny lafiny mikroskopika, ny isan'ny lesoka mihoatra ny 1μm isaky ny santimetatra toradroa amin'ny alàlan'ny mikroskopia elektronika dia tsy tokony hihoatra ny 3. Ireo lesoka ireo dia hisy fiantraikany amin'ny tanjaky ny rafitra sy ny fisakanan'ny velaran'ny fotony, ary avy eo dia hisy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fitaovana sy ny fahamarinany.
Fahefatra, fahamarinan-toerana sy fanoherana ny dona
Fahamarinan-toerana dinamika: Ao anatin'ny tontolo iainana hovitrovitra novokarin'ny fiasan'ny fitaovana semiconductor (eo anelanelan'ny matetika hovitrovitra 10-1000Hz, amplitude 0.01-0.1mm), ny fifindran'ny hovitrovitra amin'ireo teboka fametrahana fototra eo amin'ny fotony dia tokony ho fehezina ao anatin'ny ±0.05μm. Raha raisina ho ohatra ny fitaovana fitsapana semiconductor, raha toa ka alefa any amin'ny fotony ny hovitrovitra an'ny fitaovana sy ny hovitrovitra manodidina azy mandritra ny fiasana, dia mety ho voasakana ny fahamarinan'ny famantarana fitsapana. Ny fahamarinan-toerana dinamika tsara dia afaka miantoka ny valin'ny fitsapana azo itokisana.
Fanoherana horohoron-tany: Tsy maintsy manana fahombiazana goavana amin'ny horohoron-tany ny fotony, ary afaka mampihena haingana ny angovon'ny hovitrovitra rehefa iharan'ny hovitrovitra avy any ivelany tampoka (toy ny hovitrovitra simulation onjam-peo), ary miantoka fa miova ao anatin'ny ±0.1μm ny toerana misy ireo singa fototra amin'ny fitaovana. Any amin'ny orinasa semiconductor any amin'ny faritra mora iharan'ny horohoron-tany, ny fotony mahatohitra horohoron-tany dia afaka miaro tsara ny fitaovana semiconductor lafo vidy, mampihena ny mety ho fahasimban'ny fitaovana sy ny fanelingelenana ny famokarana vokatry ny hovitrovitra.
5. Fahamarinan'ny simika
Fanoherana ny harafesina: Ny fotony granita dia tokony hahatohitra ny harafesin'ny akora simika mahazatra amin'ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor, toy ny asidra hydrofluoric, aqua regia, sns. Rehefa avy nalona tao anaty vahaolana asidra hydrofluoric misy ampahany betsaka 40% mandritra ny 24 ora, dia tsy tokony hihoatra ny 0.01% ny tahan'ny fihenan'ny kalitaon'ny ety ivelany; Alona ao anaty aqua regia (tahan'ny habetsahan'ny asidra hydrochloric amin'ny asidra nitrika 3:1) mandritra ny 12 ora, ary tsy misy soritra miharihary amin'ny harafesina eo amin'ny ety ivelany. Ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor dia misy karazana dingana fanadiovana sy fandokoana simika isan-karazany, ary ny fanoherana tsara ny harafesina amin'ny fotony dia afaka miantoka fa tsy ho simba ny fampiasana maharitra amin'ny tontolo simika, ary voatazona ny fahamarinan'ny rafitra sy ny fahamarinan'ny rafitra.
Fanoherana ny fandotoana: Ny akora fototra dia manana fidiran'ny loto mahazatra ao amin'ny tontolo famokarana semiconductor, toy ny entona organika, ion metaly, sns. Rehefa apetraka ao anaty tontolo misy entona organika 10 PPM (ohatra, benzene, toluene) sy ion metaly 1ppm (ohatra, ion varahina, ion vy) mandritra ny 72 ora, dia tsy dia misy fiantraikany amin'ny fiovan'ny fahombiazana ateraky ny fidiran'ny loto eo amin'ny velaran'ny fototra izany. Izany dia misoroka ny fifindran'ny loto avy amin'ny velaran'ny fototra mankany amin'ny faritra famokarana puce ary tsy hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny puce.
Fotoana fandefasana: 28 Martsa 2025