Ao amin'ny rojo tsara indrindra amin'ny famokarana semiconductor, ny rafitra famindrana wafer dia toy ny "lifeline amin'ny tsipika famokarana chip", ary ny fahamarinany sy ny fahamarinany dia mamaritra mivantana ny tahan'ny vokatra. Ny rafitra famindrana wafer vaovao dia manambatra ny motera tsipika miaraka amin'ny fototra granita, ary ny tombony tsy manam-paharoa amin'ny fitaovana granita dia ny fehezan-dalàna fototra hamahana ny fifindran'ny asa avo lenta.
ny
Fony granita: Manangana "fototra mivaingana" ho an'ny fifindran'ny stable
Ny granita, izay nandalo fanatsarana ara-jeolojika an-jatony tapitrisa taona maro, dia manasongadina ny kristaly mineraly anatiny matevina sy mitovitovy. Ity toetra voajanahary ity dia mahatonga azy ho fitaovana fototra tsara indrindra ho an'ny rafitra famindrana wafer. Ao amin'ny tontolo sarotra semiconductor cleanrooms, granita, miaraka amin'ny ultra-ambany coefficient ny fanitarana mafana (5-7 × 10⁻⁶ / ℃ ihany), dia afaka manohitra ny hafanana nateraky ny fitaovana sy ny fitaoman 'ny fiovan'ny mari-pana ny tontolo iainana, miantoka ny fahamarinan-toerana ny haben'ny fototra sy ny fisorohana ny fifindran'ny lalan'ny deviation vokatry ny mafana deformation. Ny fahombiazan'ny vibration misongadina dia afaka misintona haingana ny fihovitrovitra mekanika ateraky ny fanombohana, ny fanakatonana ary ny fanafainganana ny motera tsipika, ary koa ny fanelingelenana ivelany entin'ny fiasan'ny fitaovana hafa ao amin'ny atrikasa, manome sehatra miorina amin'ny "zero shake" ho an'ny fifindran'ny wafer. ny
Mandritra izany fotoana izany, ny fahamarinan-toerana simika amin'ny granita dia miantoka fa tsy manimba na harafesina ao amin'ny atrikasa semiconductor izay misy asidra sy alkali reagents dia tsy misy dikany ary ilaina ny fahadiovana avo, ka misoroka ny fiantraikany amin'ny fifindran'ny marina noho ny fahanterana ara-nofo na ny fandotoana adsorption. Ny toetra malefaka sy matevina dia afaka mampihena ny fidiran'ny vovoka amin'ny fomba mahomby kokoa, mifanaraka amin'ny fenitra henjana tsy misy vovoka amin'ny efitrano madio ary manafoana ny mety hisian'ny fandotoana wafer avy amin'ny fakany. ny
Ny vokatry ny "fiaraha-miasa volamena" amin'ny motera sy granita
Motors Linear, miaraka amin'ny toetran'izy ireo tsy misy fifindran'ny mekanika, haingam-pandeha avo lenta ary hafainganam-pandeha avo lenta, manome tombony amin'ny "faingana, marina ary maharitra". Ny fototra granita dia manome sehatra fanohanana matanjaka sy azo antoka ho azy. Miara-miasa izy roa ireo mba hahatratrarana ny fahombiazana. Rehefa ny maotera linear no mitondra ny wafer carrier mba hihazakazaka eo amin'ny granita fototra lalana, ny henjana mafy sy ny fahamarinan-toerana ny fototra dia miantoka ny fifindran'ny mahomby ny maotera hery mitondra, misoroka ny hery very na ny fampitana lag vokatry ny fototra deformation. ny
Entin'ny fitakiana ny mari-pamantarana nanoscale, ny motera tsipika dia afaka manara-maso ny fifindran'ny sub-micron-level. Ny toetran'ny fanodinana avo lenta amin'ny fototra granita (miaraka amin'ny fahadisoana fisaka voafehy ao anatin'ny ± 1μm) dia mifanandrify tsara amin'ny fanaraha-maso marina ny motera tsipika, miaraka miantoka fa ny fahadisoana amin'ny toerana mandritra ny fifindran'ny wafer dia latsaky ny ± 5μm. Na fanakatonana haingam-pandeha eo amin'ireo fitaovana fanodinana isan-karazany na fiantsonan'ny fiara ho an'ny fandefasana wafer, ny fitambaran'ny motera tsipika sy ny fototra granita dia afaka miantoka ny "fiviliana aotra sy jitter aotra" amin'ny fifindran'ny wafer. ny
Fanamarinana fanao amin'ny indostria: Fanatsarana indroa amin'ny fahombiazana sy ny tahan'ny vokatra
Taorian'ny fanavaozana ny rafitra famindrana wafer, ny orinasa semiconductor eran-tany dia nanangana vahaolana motera tsipika + base granita, izay nampitombo ny fahombiazan'ny famindrana wafer tamin'ny 40%, nampihena ny tahan'ny lesoka toy ny fifandonana sy ny fanonerana nandritra ny fizotran'ny famindrana tamin'ny 85%, ary nanatsara ny taham-pamokarana ankapobeny amin'ny 6%. Ao ambadiky ny angon-drakitra dia misy ny antoka amin'ny fitoniana fampitana omen'ny fototry ny granita sy ny vokatra synergy haingam-pandeha sy mazava tsara amin'ny maotera tsipika, izay mampihena be ny fahaverezana sy ny fahadisoana amin'ny fizotry ny fifindran'ny wafer. ny
Avy amin'ny fananana ara-materialy ka hatramin'ny famokarana mazava tsara, avy amin'ny tombony amin'ny fampisehoana ka hatramin'ny fanamarinana azo ampiharina, ny fitambaran'ny motera tsipika sy ny fototra granita dia nanova ny fenitry ny rafitra famindrana wafer. Amin'ny ho avy rehefa mandroso ny teknolojia semiconductor mankany amin'ny fizotran'ny 3nm sy 2nm, ny fitaovana granita dia azo antoka fa hanohy hanindrona hery matanjaka amin'ny fivoaran'ny indostria miaraka amin'ny tombony tsy azo soloina.
Fotoana fandefasana: May-14-2025