Ao amin'ny rojo famokarana semiconductor mazava tsara, ny rafitra famindrana wafer dia toy ny "fiarovana ny tsipika famokarana puce", ary ny fahamarinany sy ny fahamarinany dia mamaritra mivantana ny tahan'ny vokatra puce. Ny taranaka vaovao amin'ny rafitra famindrana wafer dia mampifangaro ny motera linear amin'ny fototra granita, ary ny tombony miavaka amin'ny fitaovana granita no kaody fototra indrindra hamahana ny fifindrana avo lenta.
Fototra granita: Fanorenana "fototra mafy orina" ho an'ny fifindran'ny herinaratra maharitra
Ny granita, izay efa nandalo fanadiovana ara-jeolojika an-jatony tapitrisa taona, dia manana kristaly mineraly anatiny matevina sy mitovy. Io toetra voajanahary io no mahatonga azy ho fitaovana fototra tsara indrindra ho an'ny rafitra famindrana wafer. Ao anatin'ny tontolo sarotra amin'ny efitrano madio semiconductor, ny granita, miaraka amin'ny coefficient expansion thermal ambany dia ambany (5-7 ×10⁻⁶/℃ ihany), dia afaka manohitra ny hafanana ateraky ny fiasan'ny fitaovana sy ny fiantraikan'ny fiovan'ny mari-pana manodidina, miantoka ny fahamarinan'ny haben'ny fototra ary misoroka ny fivilian-dàlana amin'ny fifindrana vokatry ny fiovaovan'ny hafanana. Ny fahombiazany miavaka amin'ny fampihenana ny hovitrovitra dia afaka mandray haingana ny hovitrovitra mekanika ateraky ny fanombohana, ny fanakatonana ary ny fanafainganana ny motera linear, ary koa ny fitsabahana ivelany ateraky ny fiasan'ny fitaovana hafa ao amin'ny atrikasa, manome sehatra marin-toerana miaraka amin'ny "zero shake" ho an'ny fifindran'ny wafer.
Mandritra izany fotoana izany, ny fahamarinan'ny granita ara-tsimika dia miantoka fa tsy harafesina na harafesina ao amin'ny atrikasa semiconductor izay mora miparitaka ny asidra sy alkali ary ilaina ny fahadiovana avo lenta, ka misoroka ny fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fandefasana noho ny fahanteran'ny fitaovana na ny fidiran'ny loto. Ny toetran'ny ety ambonin'ny tany malefaka sy matevina dia afaka mampihena tsara kokoa ny firaiketan'ny vovoka, mahafeno ny fenitra hentitra momba ny tsy fisian'ny vovoka amin'ny efitrano madio ary manafoana ny mety hisian'ny loto avy amin'ny fakany.
Ny fiantraikan'ny "fiaraha-miasa volamena" amin'ny motera linear sy granita
Ny motera linear, miaraka amin'ny toetrany tsy misy elanelana amin'ny fifindran'ny herinaratra mekanika, haingam-pandeha avo lenta ary hafainganam-pandeha avo lenta, dia manome tombony amin'ny fifindran'ny herinaratra wafer amin'ny "haingana, marina ary marin-toerana". Ny fotony granita dia manome sehatra fanohanana matanjaka sy azo itokisana ho azy. Miara-miasa izy roa mba hahazoana fahombiazana ambony. Rehefa manosika ny mpitondra herinaratra wafer hiasa eo amin'ny lalana fotony granita ny motera linear, ny hamafin'ny fotony sy ny fahamarinan-toerana matanjaka dia miantoka ny fifindran'ny hery manosika ny motera, misoroka ny fahaverezan'ny hery na ny fahatarana amin'ny fifindran'ny herinaratra vokatry ny fiovaovan'ny fotony.
Noho ny filàna fahamarinan-toerana nanoscale, ny motera linear dia afaka mahazo fifehezana ny fifindran'ny herinaratra amin'ny ambaratonga ambanin'ny micron. Ny toetran'ny fanodinana avo lenta amin'ny fototra granita (miaraka amin'ny lesoka fisaka voafehy ao anatin'ny ±1μm) dia mifanaraka tsara amin'ny fifehezana marina ny motera linear, izay miantoka fa ny lesoka fametrahana mandritra ny fandefasana wafer dia latsaky ny ±5μm. Na fifindrana haingam-pandeha eo amin'ireo fitaovana fanodinana isan-karazany izany na fijanonana marina ho an'ny famindrana wafer, ny fitambaran'ny motera linear sy ny fototra granita dia afaka miantoka ny "fiviliana tsy misy sy ny fihetsehana tsy misy" amin'ny fandefasana wafer.
Fanamarinana ny fomba fanao amin'ny indostria: Fanatsarana roa sosona eo amin'ny fahombiazana sy ny tahan'ny vokatra
Taorian'ny nanavaozana ny rafitra famindrana wafer, orinasa semiconductor manerantany iray no nampiasa vahaolana motera linear + fototra granita, izay nampitombo ny fahombiazan'ny famindrana wafer hatramin'ny 40%, nampihena ny tahan'ny fisian'ny lesoka toy ny fifandonana sy ny offset mandritra ny fizotran'ny famindrana hatramin'ny 85%, ary nanatsara ny tahan'ny vokatra ankapobeny amin'ny puce hatramin'ny 6%. Ao ambadiky ny angon-drakitra dia misy ny antoka momba ny fahamarinan'ny fandefasana omen'ny fototra granita sy ny fiantraikan'ny synergy haingam-pandeha sy marina amin'ny motera linear, izay mampihena be ny fatiantoka sy ny lesoka amin'ny fizotran'ny fandefasana wafer.
Manomboka amin'ny toetran'ny fitaovana ka hatramin'ny fanamboarana mazava tsara, manomboka amin'ny tombony azo avy amin'ny fahombiazana ka hatramin'ny fanamarinana azo ampiharina, ny fampifangaroana ny motera linear sy ny fototra granita dia namaritra indray ny fenitry ny rafitra famindrana wafer. Amin'ny ho avy, rehefa mandroso mankany amin'ny dingana 3nm sy 2nm ny teknolojia semiconductor, dia azo antoka fa hanohy hampiditra tosika matanjaka amin'ny fivoaran'ny indostria miaraka amin'ireo tombony tsy azo soloina ny fitaovana granita.
Fotoana fandefasana: 14 Mey 2025