Ny fitaovana granita dia ampiasaina betsaka amin'ny indostrian'ny semiconductor noho ny toetrany tsara indrindra, toy ny fahamarinan-toerana avo, ny fanitarana ny hafanana ambany, ary ny fanoherana avo amin'ny harafesina.Ireo fananana ireo dia mahatonga ny granita ho fitaovana tsara indrindra amin'ny fananganana singa avo lenta amin'ny rafitra famindrana wafer.
Ao amin'ny dingan'ny famokarana semiconductor, ny rafitra famindrana wafer dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitaterana wafer amin'ny dingana samihafa amin'ny fizotran'ny famokarana.Ny fahitsiana sy ny fahitsiana no fepetra ilaina amin'ireo rafitra ireo satria na dia ny fiviliana kely aza dia mety hanimba ny dingana manontolo.Noho izany, ny singa ao amin'ny rafitra famindrana wafer dia tsy maintsy vita amin'ny fitaovana avo lenta, ary ny granita dia mahafeno ireo fepetra ireo.
Ny ampahany sasany amin'ny rafitra famindrana wafer izay vita amin'ny fitaovana granita dia ahitana:
1. Vacuum Chuck Table
Ny latabatra vacuum chuck dia ampiasaina amin'ny fitazonana ny wafer mandritra ny dingana, ary tsy maintsy manana sehatra azo antoka izy mba hahazoana antoka fa tsy simba ny wafer.Ny granita dia fitaovana mety indrindra amin'ny fanaovana an'ity latabatra ity satria manana endrika fisaka sy tsy misy porous izay manome fahamarinan-toerana sy fahitsiana.Fanampin'izany, ny granita dia manana coefficient kely amin'ny fanitarana mafana, ka mahatohitra ny fiovan'ny mari-pana izay mety hiteraka fiovana amin'ny haben'ny wafer.
2. Dingana mitondra rivotra
Ny dingana mitondra rivotra dia ampiasaina hitaterana ny wafer amin'ny dingana samihafa amin'ny fizotran'ny famokarana.Ny sehatra dia novolavolaina mba hanomezana fihetsiketsehana tsy misy korontana, izay mitaky fahitsiana sy fahamarinan-toerana ambony.Ny granita dia ampiasaina amin'ity fampiharana ity satria vato henjana sy mafy izy io, ary manohitra ny fiovaovan'ny toetr'andro sy ny fitafy rehefa mandeha ny fotoana.
3. Linear Motion Guides
Ireo mpitari-dalana amin'ny fihetsehana tsipika dia ampiasaina hitarihana ny dingana mitondra rivotra, ary tsy maintsy apetraka tsara izy ireo mba hampihenana ny lesoka.Ny granita dia ampiasaina amin'ny fananganana ity torolàlana ity satria manana fahamarinan-toerana sy hery mekanika tena tsara izy.Ny fitaovana koa dia mahatohitra ny harafesina, izay miantoka ny faharetan'ny rafitra mpitari-dalana.
4. Fitaovana metrology
Ny fitaovana metrology dia ampiasaina handrefesana ny refy sy ny toetran'ny wafer mandritra ny dingan'ny famokarana.Ny granita dia fitaovana tsara indrindra amin'ny fananganana an'io fitaovana io satria manana henjana avo, ambany ny fanitarana ary kely ny deformation eo ambanin'ny enta-mavesatra.Ankoatr'izay, ny fahamarinan'ny hafanana amin'ny granita dia miantoka fa ny fitaovan'ny metrology dia mijanona ho marin-toerana sy marina rehefa mandeha ny fotoana.
Ho fehin-kevitra, ny indostrian'ny semiconductor dia miankina amin'ny fahitsiana sy ny fahitsiana, ary ny fitaovana granita dia voaporofo fa azo itokisana sy miorina tsara amin'ny fizotran'ny famokarana.Miaraka amin'ny singa manan-danja maro ao amin'ny rafitra famindrana wafer mitaky fahamarinan-toerana avo lenta, mazava tsara ary ambany fanitarana mafana, ny injeniera dia nitodika tany amin'ny granita fitaovana mba hahafeno ireo fepetra ilaina.
Fotoana fandefasana: Mar-19-2024