Ny granita dia iray amin'ireo fitaovana malaza indrindra ampiasaina amin'ny fitaovana semiconductor.Karazam-bato mafy sy mivaivay izy io, izay misy loko volondavenona, mavokely ary fotsy.Ny granita dia fantatra amin'ny faharetany, ny haavon'ny fanitarana hafanana ambany ary ny conductivity mafana tsara, ka mahatonga azy io ho fitaovana tsara ampiasaina amin'ny subsystems fitaovana semiconductor.
Ny iray amin'ireo subsystems voalohany mampiasa granita amin'ny fitaovana semiconductor dia ny subsystem fikarakarana sy fanodinana wafer.Ity subsystem ity dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fizotran'ny famokarana fitaovana semiconductor.Ny wafer no substrate fanombohana ho an'ny fitaovana, ary ny subsystem fikarakarana sy fanodinana dia tompon'andraikitra amin'ny famindrana ny wafers eo anelanelan'ny efitrano samihafa sy ny fitaovana fanodinana.Ny granita dia ampiasaina amin'ny famoronana tafo fitehirizana wafer mazava tsara sy fisaka ary manome sehatra azo antoka ho an'ny fanodinana wafer.
Ny subsystem manakiana iray hafa mampiasa granita dia ny subsystem vacuum.Amin'ny fitaovana semiconductor, ny efitrano banga dia ampiasaina mba hisorohana ny fandotoana mandritra ny famokarana.Mba hahombiazan'ity rafitra ity dia tsy maintsy voaisy tombo-kase tanteraka ny efitrano, izay misy ny granita.Fanampin'izany, ny famantaran'ny machining avo indrindra amin'ny granita dia mamela ny famoronana tombo-kase tonga lafatra, manome tontolo banga azo antoka ho an'ny fanodinana wafer.
Ny subsystem alignment dia rafitra manakiana iray hafa izay mampiasa ny toetra mampiavaka ny granita.Ity subsystem ity dia tompon'andraikitra amin'ny fampifanarahana ny ampahany samihafa amin'ny fitaovana semiconductor amin'ny fahitsiana sy marina.Ny granita dia ampiasaina amin'ny famolavolana sy fananganana ny dingana fampifanarahana mba hiantohana ny henjana sy ny fahamarinan-toerana ambony.Ny hamafin'ny granita avo dia manampy amin'ny fanatrarana ny fahitsiana avo lenta, mitarika amin'ny famokarana fitaovana semiconductor tena marina sy azo antoka.
Farany, ny subsystem metrology dia rafitra iray hafa amin'ny fitaovana semiconductor izay mampiasa granita.Ny metrology dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fanodinana wafer, ary ny fahamarinan'ity subsystem ity dia tena ilaina amin'ny fiantohana ny kalitaon'ny fitaovana.Ny granita dia manome sehatra marin-toerana sy henjana izay manampy amin'ny fampihenana ny hovitrovitra sy ny fampihenana ny fiantraikan'ny fiovaovan'ny mari-pana.Izany, kosa, dia manampy amin'ny fanatrarana fandrefesana tena marina ao amin'ny subsystem metrolojia, mitarika amin'ny famokarana fitaovana semiconductor avo lenta.
Ho fehiny, ny granita dia fitaovana tena ilaina amin'ny famokarana fitaovana semiconductor.Ny fananana tsy manam-paharoa toy ny henjana avo, ny fanitarana hafanana ambany ary ny conductivity mafana tsara dia mahatonga azy ho fitaovana tsara ho an'ny subsystems maromaro amin'ny fitaovana semiconductor, ao anatin'izany ny fikarakarana sy ny fanodinana wafer, ny subsystem vacuum, ny subsystem alignment ary ny subsystem metrolojia.Ankoatr'izay, ny fampiasana granita amin'ny fitaovana semiconductor dia nanampy tamin'ny famokarana fitaovana tena marina, azo itokisana ary mahomby izay nanova ny indostria maro.
Fotoana fandefasana: Mar-19-2024