Amin'ny sehatra toy ny fanamboarana semiconductor sy ny fitaovana fandrefesana mazava tsara, ny fahamarinan'ny sehatra granite mazava tsara dia mamaritra mivantana ny kalitaon'ny fiasan'ny fitaovana. Mba hahazoana antoka fa mahafeno ny fenitra ny fahamarinan'ny sehatra, dia tokony hatao amin'ny lafiny roa ny ezaka: ny famantarana ireo tondro fototra sy ny fanarahana ny fenitra mahazatra.
Fitiliana ny mari-pamantarana fototra: Fanaraha-maso ny fahamarinan'ny lafiny maro
Fitiliana fisaka: Famantarana ny "fisaka" amin'ny fiaramanidina fanondroana
Ny fisaka no famantarana fototra amin'ny sehatra granita mazava tsara, ary matetika refesina amin'ny alalan'ny interferometer laser na ambaratonga elektronika. Ny interferometer laser dia afaka mandrefy tsara ny fihovitrovitra kely eo amin'ny velaran'ny sehatra amin'ny alàlan'ny fandefasana taratra laser sy ny fampiasana ny fitsipiky ny fitsabahan'ny hazavana, miaraka amin'ny fahamarinan'ny ambaratonga sub-micron. Ny ambaratonga elektronika dia mandrefy amin'ny alàlan'ny fihetsehana imbetsaka ary manao sarintany telo dimensions amin'ny velaran'ny sehatra mba hamantarana raha misy fisongadinana na lesoka eo an-toerana. Ohatra, ny sehatra granita ampiasaina amin'ny milina photolithography semiconductor dia takiana hanana fisaka ±0.5μm/m, midika izany fa ny fahasamihafan'ny haavony ao anatin'ny halavany 1 metatra dia tsy tokony hihoatra ny antsasaky ny mikrômetatra. Amin'ny alàlan'ny fitaovana famantarana avo lenta ihany no ahafahana miantoka io fenitra henjana io.
2. Fitihana mahitsy: Ataovy azo antoka fa "mahitsy" ny fihetsehana mahitsy
Ho an'ireo sehatra izay mitondra faritra mihetsika mazava tsara, dia tena zava-dehibe ny fahitsiana. Ny fomba mahazatra hamantarana dia ny fomba tariby na ny laser collimator. Ny fomba tariby dia ny fampiatoana tariby vy avo lenta ary ny fampitahana ny elanelana misy eo amin'ny velaran'ny sehatra sy ny tariby vy mba hamaritana ny fahitsiana. Ny laser collimator dia mampiasa ny toetran'ny laser miparitaka linear mba hamantarana ny hadisoana linear amin'ny velaran'ny fametrahana ny lalamby mpitari-dalana. Raha tsy mahafeno ny fenitra ny fahitsiana, dia hiteraka fihetsehana ny fitaovana mandritra ny fihetsehana, izay misy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny fanodinana na ny fandrefesana.
3. Fitiliana ny haratsian'ny ety ivelany: Ataovy azo antoka fa "hadio" ny fifandraisana
Ny harafesina ambonin'ny sehatra dia misy fiantraikany amin'ny fahafahan'ny singa apetraka. Amin'ny ankapobeny, ny fandrefesana ny harafesina amin'ny penina na mikroskopia optika no ampiasaina amin'ny fitiliana. Ny fitaovana karazana penina dia mirakitra ny fiovan'ny haavon'ny mombamomba ny mikroskopia amin'ny alàlan'ny fifandraisana amin'ny velaran'ny sehatra amin'ny alalan'ny fitaovana kely. Ny mikroskopia optika dia afaka mandinika mivantana ny endriky ny velarany. Amin'ny fampiharana avo lenta, ny harafesina ambonin'ny sehatra granita dia mila fehezina amin'ny Ra≤0.05μm, izay mitovy amin'ny fiantraikany toy ny fitaratra, mba hahazoana antoka fa mifanaraka tsara ny singa mandritra ny fametrahana ary misoroka ny hovitrovitra na ny fifindran'ny toerana vokatry ny elanelana.
Ireto avy ny fenitra momba ny fahamarinan-toerana: fenitra iraisam-pirenena sy fanaraha-maso anatiny ao amin'ny orinasa
Amin'izao fotoana izao, iraisam-pirenena, ny fenitra ISO 25178 sy GB/T 24632 no ampiasaina matetika ho fototra hamaritana ny fahamarinan'ny sehatra granita, ary misy fanasokajiana mazava ho an'ny mari-pamantarana toy ny fisaka sy ny mahitsy. Ankoatra izany, ireo orinasa mpamokatra avo lenta dia matetika mametraka fenitra fanaraha-maso anatiny henjana kokoa. Ohatra, ny fepetra takiana amin'ny fisaka ho an'ny sehatra granita amin'ny milina photolithography dia 30% ambony noho ny fenitra iraisam-pirenena. Rehefa manao fitsapana, ny angon-drakitra voarefy dia tokony hampitahaina amin'ny fenitra mifandraika amin'izany. Ireo sehatra izay mifanaraka tanteraka amin'ny fenitra ihany no afaka miantoka ny fahombiazana maharitra amin'ny fitaovana precision.
Tetikasa rafitra ny fanaraha-maso ny fahamarinan'ny sehatra granita. Amin'ny alalan'ny fitsapana hentitra ireo mari-pamantarana fototra toy ny fisaka, ny mahitsy ary ny haratsian'ny velarana, ary ny fanarahana ny fenitra iraisam-pirenena sy ny orinasa ihany no ahafahana miantoka ny fahamarinan'ny sehatra sy ny fahatokisana azy, ka mametraka fototra mafy orina ho an'ny sehatry ny famokarana avo lenta toy ny semiconductors sy ny fitaovana misy fahamarinan-toerana.
Fotoana fandefasana: 21 Mey 2025