Eo amin'ny sehatra toy ny famokarana semiconductor sy ny fitaovana fandrefesana mazava tsara, ny fahamarinan'ny sehatra fametahana granita dia mamaritra mivantana ny kalitaon'ny fiasan'ny fitaovana. Mba hahazoana antoka fa mifanaraka amin'ny fenitra ny fahamarinan'ny sehatra, dia tokony hatao amin'ny lafiny roa ny ezaka: ny fitadiavana ireo tondro fototra sy ny fanarahana ny fenitra mahazatra. ny
Famantarana fototra: fanaraha-maso marobe amin'ny fahitsiana
Fikarohana fisaka: Famaritana ny "flatness" amin'ny fiaramanidina fanondro
Ny fisaka no mari-pamantarana fototra amin'ny sehatra fametahana granita, ary matetika no refesina amin'ny interferometer laser na haavo elektronika. Ny interferometer tamin'ny laser dia afaka mandrefy tsara ny fihodinan'ny minitra eo amin'ny sehatra amin'ny alàlan'ny famoahana taratra laser ary mampiasa ny fitsipiky ny fitsabahana amin'ny hazavana, miaraka amin'ny fahamendrehana mahatratra ny haavon'ny sub-micron. Ny haavon'ny elektronika dia mandrefy amin'ny alàlan'ny fihetsehana imbetsaka ary manao sari-tany misy endrika telo amin'ny velaran'ny lampihazo mba hamantarana raha misy fisondrotana eo an-toerana na fahaketrahana. Ohatra, ny sehatra granita ampiasaina amin'ny milina photolithography semiconductor dia tsy maintsy manana fisaka ± 0.5μm / m, midika izany fa ny fahasamihafan'ny haavony ao anatin'ny halavany 1 metatra dia tsy tokony hihoatra ny antsasaky ny micrometer. Amin'ny alalan'ny fitaovana fitiliana avo lenta ihany no ahazoana antoka io fenitra hentitra io. ny
2. Fikarohana mahitsy: Ataovy azo antoka ny "hitsitsy" ny hetsika tsipika
Ho an'ny sehatra izay mitondra kojakoja mihetsika mazava tsara dia zava-dehibe ny mahitsy. Ny fomba fahita matetika dia ny fomba tariby na ny collimator laser. Ny fomba tariby dia ny fampiatoana ny tariby vy avo lenta ary ny fampitahana ny elanelana misy eo amin'ny sehatra sy ny tariby vy mba hamaritana ny mahitsy. Ny collimator tamin'ny laser dia mampiasa ny toetran'ny fiparitahan'ny tsipika amin'ny laser mba hamantarana ny hadisoan'ny tsipika amin'ny fametrahana ambonin'ny lalamby mpitari-dalana. Raha tsy mahafeno ny fenitra ny mahitsy, dia mety hiova ny fitaovana mandritra ny hetsika, hisy fiantraikany amin'ny fanodinana na fandrefesana marina. ny
3. Fanaraha-maso ny hamafin'ny ety ivelany: Ataovy azo antoka ny "fahatsarana" ny fifandraisana
Misy fiantraikany eo amin'ny fametahana singa ny hamafin'ny sehatra. Amin'ny ankapobeny, stylus roughness meter na mikraoskaopy optika no ampiasaina hamantarana. Ny fitaovana karazana stylus dia mirakitra ny fiovan'ny haavon'ny mombamomba ny mikroskopika amin'ny alàlan'ny fifandraisana amin'ny endrik'ilay lampihazo miaraka amin'ny probe tsara. Ny mikraoskaopy optika dia afaka mijery mivantana ny tontolon'ny tany. Amin'ny fampiharana avo lenta, ny hamafin'ny sehatra granita dia mila fehezina amin'ny Ra≤0.05μm, izay mitovy amin'ny fiantraikan'ny fitaratra, miantoka fa ny singa mazava tsara dia mifanaraka tsara mandritra ny fametrahana sy ny fisorohana ny fihovitrovitra na ny fifindran'ny elanelana. ny
Manaraka ny fenitra mazava tsara: ny fenitra iraisam-pirenena sy ny fanaraha-maso anatiny ny orinasa
Amin'izao fotoana izao, eo amin'ny sehatra iraisam-pirenena, ny fenitra ISO 25178 sy GB / T 24632 dia matetika ampiasaina ho fototry ny famaritana ny fahamarinan'ny sehatra granita, ary misy fanasokajiana mazava ho an'ny tondro toy ny fisaka sy mahitsy. Ankoatr'izay, ny orinasa mpamokatra avo lenta matetika dia mametraka fenitry ny fanaraha-maso anatiny henjana kokoa. Ohatra, ny fepetra takiana amin'ny sehatra granita amin'ny milina photolithography dia 30% ambony noho ny fenitra iraisam-pirenena. Rehefa manao fitsapana dia tokony hampitahaina amin'ny fenitra mifanaraka amin'izany ny angon-drakitra voarefy. Ny sehatra manaraka tanteraka ny fenitra ihany no afaka miantoka ny fahombiazan'ny fitaovana tsara. ny
Ny fanaraha-maso ny fahamarinan'ny sehatra fametahana granita dia tetikasa rafitra. Amin'ny alalan'ny fitsapana mafy tondro fototra toy ny fisaka, mahitsy, ary ny roughness ambonin'ny, ary manaraka ny fenitra iraisam-pirenena sy ny orinasa, dia azo antoka ny avo marina tsara sy azo itokisana ny lampihazo, mametraka fototra mafy ho an'ny avo-end eo amin'ny famokarana saha toy ny semiconductor sy ny marina fitaovana.
Fotoana fandefasana: May-21-2025