Eo amin'ny sehatry ny fanamboarana semiconductor, ny fahaiza-mijery tsara no zava-dehibe. Rehefa mandroso hatrany amin'ny ambaratonga nanometer ary na dia ny ambaratonga nanometer aza ny teknolojia fanamboarana puce, dia mety hiteraka fihenan'ny fahombiazan'ny puce na mety ho tsy fahombiazana tanteraka mihitsy aza ny lesoka kely rehetra. Amin'ity fifaninanana ho an'ny fahaiza-mijery tsara indrindra ity, ny kojakoja fanamboarana granite, miaraka amin'ny toetrany ara-batana sy mekanika miavaka, dia lasa singa fototra amin'ny fiantohana ny fahaiza-mijery tsara amin'ny famokarana puce amin'ny ambaratonga nano.
Ny fahamarinan-toerana miavaka no fototry ny fahamarinan-toerana
Sarotra ny tontolo iainana ao amin'ny atrikasa fanamboarana semiconductor, ary ireo anton-javatra ivelany toy ny hovitrovitra sy ny fiovan'ny mari-pana dia mandrahona tsy tapaka ny fahamarinan'ny famokarana. Ny kojakoja granita misy precise dia manana fahamarinan-toerana avo dia avo, izay manome fototra mafy orina ho an'ny famokarana puce. Ny rafitra anatiny dia matevina sy mitovy, niforona tamin'ny alàlan'ny dingana ara-jeolojika nandritra ny an-jatony tapitrisa taona, ary manana toetra voajanahary avo lenta amin'ny fampihenana ny fihovitrovitra. Rehefa alefa any amin'ny fitaovana famokarana ny hovitrovitra ivelany, ny ampahany granita misy precise dia afaka mandray sy mampihena tsara ny angovon'ny hovitrovitra mihoatra ny 80%, ka mampihena be ny fiantraikan'ny hovitrovitra amin'ny fitaovana misy precise.
Zava-dehibe indrindra amin'ny fizotran'ny photolithographie ity toetra ity. Dingana tena ilaina amin'ny famindrana ny lamina famolavolana ny poti-javatra amin'ny wafer silikônina ny photolithographie, izay mitaky ny latabatra fiasan'ny milina photolithographie mba hihazonana fahamarinan-toerana avo lenta. Ny latabatra fiasana granita dia afaka manasaraka ny fihovitrovitra amin'ny gorodon'ny atrikasa sy ny fitaovana hafa, miantoka fa ny hadisoana eo amin'ny toerana misy eo amin'ny wafer silikônina sy ny saron-tava photolithographie dia voafehy amin'ny ambaratonga nanometer mandritra ny fizotran'ny fampiharihariana ny milina photolithographie, ka miantoka ny famindrana marina ny lamina.
Ankoatra izany, dia tena ambany dia ambany ny coefficient-n'ny fivelaran'ny granita, matetika eo anelanelan'ny 5 ka hatramin'ny 7 × 10⁻⁶/℃. Mandritra ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor, ny hafanana ateraky ny fiasan'ny fitaovana sy ny fiovaovan'ny mari-pana ao amin'ny atrikasa dia mety hiteraka fiovaovan'ny mari-pana amin'ny fitaovana. Saika tsy voakasiky ny fiovan'ny mari-pana ny kojakoja granita ary afaka mitazona refy sy endrika marin-toerana foana. Ohatra, amin'ny fizotran'ny fanesorana poti-kazo, na dia fiovana kely amin'ny mari-pana aza dia mety hiteraka fivelaran'ny singa fototra amin'ny fitaovana fanesorana, ka miteraka fivilian-dalana eo amin'ny halaliny sy ny fahamarinan'ny fanesorana. Na izany aza, ny fampiasana kojakoja granita ho fanohanana sy singa mitondra enta-mavesatra dia afaka misoroka tsara izany toe-javatra izany, miantoka ny fahamarinan'ny fizotran'ny fanesorana.
Fanodinana avo lenta sy tombony amin'ny kalitaon'ny ambonin'ny tany
Ny teknolojia fanodinana avo lenta amin'ny ampahany granita dia singa iray manan-danja ihany koa amin'ny fiantohana ny fahamarinan'ny famokarana poti-javatra. Amin'ny alàlan'ny teknolojia fanodinana ultra-precision mandroso, ny fisaka, ny mahitsy ary ny mari-pamantarana hafa momba ny fahamarinan'ny kojakoja granita dia afaka mahatratra ambaratonga avo dia avo. Ohatra, amin'ny alàlan'ny fampiasana teknika fikosoham-bary sy fanosotra CNC, ny harafesina amin'ny granita dia azo ahena ho amin'ny ambaratonga nanometer, ka mahatonga ny endriky ny velarana ho toy ny fitaratra.
Ao amin'ny fitaovana fanamboarana "chip", ny kalitaon'ny velaran-javatra avo lenta toy ny "granite precision guide rails" sy "sliders" dia afaka mampihena be ny fifandonana sy ny fikikisana eo amin'ny faritra mihetsika. Tsy vitan'ny hoe manatsara ny fahamarinan'ny fivezivezen'ny fitaovana fotsiny izany, fa manalava ny androm-piainan'ny fitaovana ihany koa. Raiso ho ohatra ny fitaovana famonosana "chip". Ny "granite precision guide rails" dia afaka miantoka fa ny fahadisoan'ny fivezivezen'ny lohan'ny fonosana rehefa maka sy mametraka ny "chip" dia voafehy amin'ny ambaratonga mikrômetatra na nanometra mihitsy aza, ka mahatratra ny fampifanarahana marina sy ny fifandraisana azo antoka eo amin'ny "chip" sy ny fonosan'ny fonosana.
Tsy mora simba sy maharitra
Dingana famokarana mitohy sy maharitra ny fanamboarana "semiconducteur", ary mila miasa mafy mandritra ny fotoana maharitra ny fitaovana. Manana fanoherana tsara amin'ny fikikisana ny granita, miaraka amin'ny hamafin'ny Mohs 6 ka hatramin'ny 7, izay mahazaka fihetsehana sy enta-mavesatra maharitra. Amin'ny fampiasana andavanandro ny fitaovana fanamboarana "chip", ny ampahany vita amin'ny granita dia tsy mora simba ary afaka mitazona fahombiazana sy fahamarinan-toerana foana.
Raha ampitahaina amin'ny fitaovana hafa, ny granita dia tsy miharatsy ny endriny na mihena ny fahombiazany mandritra ny fampiasana maharitra. Midika izany fa ny fitaovana famokarana puce mampiasa singa granita mazava tsara dia mbola afaka mitazona fahamarinan-toerana sy fahamarinan-toerana avo lenta na dia efa niasa ela aza, ka mampihena tsara ny tahan'ny lesoka amin'ny vokatra vokatry ny fihenan'ny fahamarinan-toerana amin'ny fitaovana. Ho an'ireo mpanamboatra semiconductor, tsy vitan'ny hoe manatsara ny fahombiazan'ny famokarana izany fa mampihena ihany koa ny vidin'ny famokarana.
Famaranana
Eo amin'ny lalana mankany amin'ny fikatsahana ny fahamarinan-toerana nanoscale amin'ny famokarana semiconductor, ny ampahany granita misy fahamarinan-toerana dia mitana anjara toerana tsy azo soloina noho ny fahamarinan-toerana miavaka, ny fanodinana avo lenta ary ny fahatokisana maharitra. Manomboka amin'ny photolithography ka hatramin'ny etching, manomboka amin'ny fonosana puce ka hatramin'ny fitsapana, ny kojakoja granita misy fahamarinan-toerana dia miasa amin'ny rohy fototra rehetra amin'ny famokarana puce, manome antoka matanjaka ho an'ny famokarana puce avo lenta. Miaraka amin'ny fivoarana mitohy amin'ny teknolojia semiconductor, dia hitombo hatrany ny fepetra takiana amin'ny fahamarinan-toerana. Ny ampahany granita misy fahamarinan-toerana dia mbola mitana anjara toerana lehibe amin'ity sehatra ity ihany koa, manampy ny indostrian'ny semiconductor hahatratra ambaratonga vaovao tsy tapaka. Na ankehitriny na amin'ny ho avy, ny ampahany granita misy fahamarinan-toerana dia ho hery fototra foana hiantohana ny fahamarinan-toerana amin'ny ambaratonga nanometer amin'ny famokarana semiconductor.
Fotoana fandefasana: Mey-07-2025