Eo amin'ny sehatry ny fanaraha-maso wafer semiconductor, ny fahadiovan'ny tontolo madio dia mifandray mivantana amin'ny vokatra vokatra. Satria mitohy mihatsara ny fahitsiana ny fizotran'ny famokarana chip, dia mihamafy hatrany ny fepetra takiana amin'ny sehatra mitondra fitaovana fitiliana. Ny sehatra granita, miaraka amin'ny toetrany amin'ny famotsorana ion metaly aotra sy ny fandotoana potikely ambany, dia nihoatra ny fitaovana vy tsy misy vy nentim-paharazana ary lasa vahaolana tiana ho an'ny fitaovana fisafoana wafer.
Ny granita dia vato voajanahary voajanahary izay ahitana mineraly tsy metaly toy ny quartz, feldspar ary mika. Ity toetra ity dia manome tombony amin'ny famoahana ion metaly aotra. Mifanohitra amin'izany kosa, ny vy tsy misy pentina, toy ny firaka amin'ny metaly toy ny vy, chromium ary nikela, dia mora voan'ny harafesina elektrôkimika eo amin'ny tavany noho ny fahatapahan'ny etona rano sy ny gazy asidra na alkali amin'ny tontolo madio, ka miteraka rotsak'orana metaly toy ny Fe²⁺ sy Cr³⁺. Raha vantany vao mipetaka amin'ny tampon'ny wafer ireo ion bitika ireo, dia hanova ny toetra elektrika amin'ny fitaovana semiconductor izy ireo amin'ny dingana manaraka toy ny photolithography sy ny etching, mahatonga ny fihenan'ny voltase amin'ny transistor, ary mitarika ho amin'ny circuits fohy ao amin'ny circuit. Ny angon-drakitra fitsapana andrim-panjakana matihanina dia mampiseho fa taorian'ny nipoiran'ny sehatra granita tsy mitsaha-mitombo amin'ny mari-pana sy ny hamandoana ny efitrano madio (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) mandritra ny 1000 ora, ny famotsorana ny ion metaly dia ambany noho ny fetran'ny fitiliana (<0.1ppb). Ny tahan'ny tsy fahampian'ny wafers vokatry ny fandotoana ion metaly rehefa mampiasa sehatra vy tsy misy kilema dia mety ho avo 15% hatramin'ny 20%.
Amin'ny resaka fanaraha-maso ny fandotoana poti, ny sehatra granita dia miasa tsara ihany koa. Ny efitra fanadiovana dia manana fepetra avo dia avo amin'ny fifantohan'ny poti-javatra mihantona eny amin'ny rivotra. Ohatra, ao amin'ny efitrano fanadiovana ISO Class 1, ny isan'ny 0.1μm poti avela isaky ny metatra toratelo dia tsy mihoatra ny 10. Na dia efa nandalo fitsaboana polishing aza ny sehatra vy tsy misy vy, dia mety mbola hamokatra potipoti-javatra metaly na oksizenina mihodinkodina noho ny hery ivelany toy ny fihovitrovitry ny fitaovana sy ny fiasan'ny mpiasa, izay mety hanelingelina ny fahitana ny lalan'ny optique na ny fanosihosena ny endriky ny wafer. Ny sehatra granita, miaraka amin'ny firafitry ny mineraly matevina (ny haavony ≥2.7g / cm³) ary ny hamafin'ny avo (6-7 amin'ny mari-pamantarana Mohs), dia tsy mora hitafy na vaky mandritra ny fampiasana maharitra. Ny fandrefesana norefesina dia mampiseho fa afaka mampihena ny fifantohan'ny poti-javatra mihantona amin'ny rivotra amin'ny faritry ny fitaovana fitiliana amin'ny 40% mihoatra ny 40% raha oharina amin'ny sehatra vy tsy misy pentina, mitazona tsara ny fenitry ny kilasy fanadiovana.
Ho fanampin'ny toetrany madio, ny fampisehoana feno amin'ny sehatra granita dia mihoatra lavitra noho ny an'ny vy tsy misy pentina. Raha ny fahamarinan-toerana mafana, ny coefficient ny fanitarana mafana dia (4-8) × 10⁻⁶ / ℃ ihany, latsaky ny antsasaky ny Stainless vy (eo amin'ny 17 × 10⁻⁶ / ℃), izay afaka mihazona tsara kokoa ny positioning marina ny fitaovana fitiliana rehefa miovaova ny mari-pana ao amin'ny efitra madio. Ny toetran'ny damping avo (damping ratio> 0.05) dia afaka manalefaka haingana ny fihovitrovitry ny fitaovana ary manakana ny fihovitrovitra ny fikarohana. Ny fanoherana ny harafesiny voajanahary dia ahafahany mijanona ho marin-toerana na dia tratran'ny solvent photoresist, entona etsa ary zavatra simika hafa tsy mila fiarovana fanampiny.
Amin'izao fotoana izao, ny sehatra granita dia ampiasaina betsaka amin'ny orinasa mpamokatra wafer mandroso. Ny angon-drakitra dia mampiseho fa taorian'ny nandraisany ny sehatra granita dia nihena 60% ny taham-pahadisoan'ny taham-pahadisoam-panantenana amin'ny fisavana ny sombin-tany, ny tsingerin'ny calibration fitaovana dia nitarina in-telo, ary ny vidin'ny famokarana dia nihena 25%. Satria ny indostrian'ny semiconductor dia mandroso mankany amin'ny mari-pamantarana avo kokoa, ny sehatra granita, miaraka amin'ny tombony fototra toy ny famotsorana ion metaly aotra sy ny fandotoana potika ambany, dia hanohy hanome fanohanana azo antoka sy azo itokisana amin'ny fisafoana wafer, ka lasa hery lehibe mitondra ny fandrosoan'ny indostria.
Fotoana fandefasana: May-20-2025