Eo amin'ny sehatry ny fanaraha-maso ny "semiconductor wafer", ny fahadiovan'ny tontolo iainana ao amin'ny efitrano madio dia mifandray mivantana amin'ny vokatra azo. Rehefa mihatsara hatrany ny fahamarinan'ny fizotran'ny fanamboarana "chip", dia miha-henjana hatrany ny fepetra takiana amin'ny sehatra fitondrana fitaovana fitiliana. Ny sehatra granita, miaraka amin'ny toetra mampiavaka azy ireo dia ny tsy famoahana ion metaly ary ny fandotoana poti-javatra ambany, dia nihoatra ny fitaovana vy tsy misy harafesina nentim-paharazana ary lasa vahaolana tsara indrindra ho an'ny fitaovana fanaraha-maso ny "wafer".
Vatolampy voajanahary ny granita izay ahitana mineraly tsy metaly toy ny quartz, feldspar ary mika. Io toetra io no manome azy tombony amin'ny tsy famoahana ion metaly. Mifanohitra amin'izany kosa, ny vy tsy misy harafesina, izay firaka metaly toy ny vy, chromium ary nikela, dia mora voan'ny harafesina elektrokimia eo amin'ny velarany noho ny fihotsahan'ny etona rano sy ny entona asidra na alkaline ao anaty tontolo madio, ka miteraka firotsahan'ny ion metaly toy ny Fe²⁺ sy Cr³⁺. Raha vao miraikitra amin'ny velaran'ny wafer ireo ion kely ireo, dia hanova ny toetra elektrika amin'ny fitaovana semiconductor amin'ny dingana manaraka toy ny photolithography sy etching, hiteraka fiovaovan'ny voltase amin'ny transistor, ary mety hiteraka circuit fohy ao amin'ny circuit mihitsy aza. Ny angon-drakitra fitsapana avy amin'ny andrim-panjakana matihanina dia mampiseho fa rehefa avy niharan'ny tontolo madio amin'ny mari-pana sy ny hamandoana (23±0.5℃, 45%±5% RH) nandritra ny 1000 ora ny sehatra granita, dia ambany noho ny fetran'ny fahitana ny famoahana ion metaly (< 0.1ppb). Mety hahatratra 15% ka hatramin'ny 20% ny tahan'ny lesoka amin'ny wafers vokatry ny fahalotoan'ny ion metaly rehefa ampiasaina ny sehatra vy tsy misy harafesina.
Raha ny momba ny fanaraha-maso ny fahalotoan'ny poti-javatra, dia tena tsara ihany koa ny vokatra azo avy amin'ny granita. Ireo efitrano madio dia manana fepetra takiana avo lenta amin'ny fifantohana poti-javatra mihantona eny amin'ny rivotra. Ohatra, ao amin'ny efitrano madio ISO Class 1, ny isan'ny poti-javatra 0.1μm azo atao isaky ny metatra toratelo dia tsy mihoatra ny 10. Na dia efa nodiovina aza ny sehatra vy tsy misy harafesina, dia mety mbola hamokatra poti-javatra metaly na kirany oksida miendaka noho ny hery ivelany toy ny hovitrovitra amin'ny fitaovana sy ny fiasan'ny mpiasa, izay mety hanelingelina ny lalan'ny optika fitadiavana na handratra ny velaran'ny wafer. Ny sehatra granita, miaraka amin'ny rafitra mineraly matevina (hakitroky ≥2.7g/cm³) sy ny hamafiny avo (6-7 amin'ny maridrefy Mohs), dia tsy mora simba na vaky mandritra ny fampiasana maharitra. Ny fandrefesana voarefy dia mampiseho fa afaka mampihena ny fifantohana poti-javatra mihantona eny amin'ny rivotra ao amin'ny faritra fitaovana fitadiavana mihoatra ny 40% raha oharina amin'ny sehatra vy tsy misy harafesina, ka mitazona tsara ny fenitra kilasy efitrano madio.
Ankoatra ny toetrany madio, ny fahombiazan'ny sehatra granita dia mihoatra lavitra noho ny vy tsy misy harafesina. Raha ny momba ny fahamarinan-toerana ara-hafanana, ny coefficient of thermal expansion-ny dia (4-8) ×10⁻⁶/℃ ihany, latsaky ny antsasaky ny vy tsy misy harafesina (eo amin'ny 17×10⁻⁶/℃), izay afaka mitazona tsara kokoa ny fahamarinan'ny toerana misy ny fitaovana fitiliana rehefa miovaova ny mari-pana ao amin'ny efitrano madio. Ny toetra mampiavaka ny damping avo (tahan'ny damping > 0.05) dia afaka mampihena haingana ny hovitrovitra amin'ny fitaovana ary misoroka ny fihovitrovitra amin'ny probe fitiliana. Ny fanoherany voajanahary ny harafesina dia ahafahany mijanona ho marin-toerana na dia tratran'ny solvents photoresist, entona etching ary zavatra simika hafa aza tsy mila fiarovana fanampiny.
Amin'izao fotoana izao, ampiasaina betsaka amin'ny orinasa fanamboarana wafer mandroso ny sehatra granita. Asehon'ny angon-drakitra fa taorian'ny fampiasana ny sehatra granita, nihena 60% ny tahan'ny fahadisoana amin'ny fitadiavana poti-javatra amin'ny velaran'ny wafer, niitatra intelo ny tsingerin'ny fanamarinana ny fitaovana, ary nihena 25% ny vidin'ny famokarana amin'ny ankapobeny. Rehefa mandroso mankany amin'ny fahamarinan-toerana ambony kokoa ny indostrian'ny semiconductor, ny sehatra granita, miaraka amin'ireo tombony fototra toy ny tsy famoahana ion metaly sy ny fandotoana poti-javatra ambany, dia hanohy hanome fanohanana azo antoka sy azo antoka ho an'ny fanaraha-maso wafer, ka lasa hery lehibe manosika ny fandrosoan'ny indostria.
Fotoana fandefasana: 20 Mey 2025