Ao amin'ny atrikasa fanamboarana semiconductor, dia tafahoatra ny fepetra takian'ny fizotran'ny fanamboarana puce ho an'ny toe-javatra manodidina sy ny fahamarinan'ny fitaovana, ary ny fiviliana kely dia mety hiteraka fihenana be amin'ny vokatra puce. Ny sehatra fihetsehana gantry XYZT dia miantehitra amin'ny singa granita mba hiara-hiasa amin'ny ampahany hafa amin'ny sehatra mba hananganana fototra matanjaka hahazoana ny fahamarinan'ny nanoscale.
Toetra tsara manakana ny hovitrovitra
Ao amin'ny atrikasa fanamboarana semiconductor, ny fiasan'ny fitaovana manodidina sy ny mpiasa mandehandeha dia mety hiteraka hovitrovitra. Ny rafitra anatiny amin'ny singa granita dia matevina sy mitovy, miaraka amin'ny toetra voajanahary avo lenta, toy ny "sakana" hovitrovitra mahomby. Rehefa alefa any amin'ny sehatra XYZT ny hovitrovitra ivelany, ny singa granita dia afaka mampihena tsara mihoatra ny 80% amin'ny angovo hovitrovitra ary mampihena ny fitsabahan'ny hovitrovitra amin'ny fahamarinan'ny fihetsehan'ny sehatra. Mandritra izany fotoana izany, ny sehatra dia misy rafitra mpitari-dalana mitsingevana rivotra avo lenta, izay miara-miasa amin'ny singa granita. Ny mpitari-dalana mitsingevana rivotra dia mampiasa ny sarimihetsika entona marin-toerana noforonin'ny entona avo lenta mba hahatratrarana ny fihetsehan'ny fampiatoana tsy misy fifandraisana amin'ny ampahany mihetsika amin'ny sehatra ary mampihena ny hovitrovitra kely vokatry ny fifandonana mekanika. Miaraka, ireo roa ireo dia miantoka fa ny fahamarinan'ny toerana misy ny sehatra dia tazonina hatrany amin'ny ambaratonga nanometer amin'ny dingana lehibe toy ny litografia chip sy ny etching, ary misoroka ny fivilian-dàlana amin'ny lamina circuit chip vokatry ny hovitrovitra.
Fahamarinan-toerana mafana tsara
Ny fiovaovan'ny mari-pana sy ny hamandoana ao amin'ny atrikasa dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fahamarinan'ny fitaovana fanamboarana "chip". Ambany dia ambany ny coefficient expansion thermal an'ny granite, amin'ny ankapobeny dia 5-7 ×10⁻⁶/℃, saika tsy miova ny habeny rehefa miova ny mari-pana. Na dia mahatonga ny mari-pana manodidina hiovaova aza ny fahasamihafan'ny mari-pana eo amin'ny andro sy ny alina ao amin'ny atrikasa na ny famokarana hafanana amin'ny fitaovana, dia afaka mijanona ho marin-toerana ny singa granite mba hisorohana ny fiovaovan'ny endrika amin'ny sehatra noho ny expansion sy ny fihenan'ny hafanana. Mandritra izany fotoana izany, ny rafitra fanaraha-maso ny mari-pana manan-tsaina misy ny sehatra dia manara-maso ny mari-pana manodidina amin'ny fotoana tena izy, manitsy ho azy ny fitaovana fampangatsiahana rivotra sy ny fanariana hafanana, ary mitazona ny mari-pana ao amin'ny atrikasa amin'ny 20°C ±1°C. Miaraka amin'ny tombony azo avy amin'ny fahamarinan'ny hafanan'ny granite, dia miantoka fa ny sehatra amin'ny fampiasana maharitra, ny fahamarinan'ny fihetsehan'ny axe tsirairay dia mahafeno ny fenitra fandrefesana nanometer an'ny fanamboarana "chip", mba hahazoana antoka fa marina ny haben'ny lamina litografia chip, ary mitovy ny halaliny fanosihosena.
Mameno ny filàn'ny tontolo iainana madio
Mila mitazona fahadiovana avo lenta ny toeram-pamokarana semiconductor mba hisorohana ny vovoka tsy handoto ny puce. Ny granite mihitsy no tsy mamokatra vovoka, ary malama ny ety ivelany, ka tsy mora mitroka vovoka. Ny sehatra amin'ny ankapobeny dia mampiasa endrika rafitra mihidy tanteraka na mihidy antsasany mba hampihenana ny fidiran'ny vovoka ivelany. Ny rafitra fivezivezen'ny rivotra anatiny dia mifandray amin'ny rafitra fampangatsiahana rivotra madio ao amin'ny atrikasa mba hahazoana antoka fa mahatratra ny ambaratonga takian'ny fanamboarana puce ny fahadiovan'ny rivotra anatiny. Ao anatin'ity tontolo madio ity, ny singa granite dia tsy hisy fiantraikany amin'ny fahombiazan'ny fahasimban'ny vovoka, ary ny singa fototra toy ny sensor sy motera avo lenta amin'ny sehatra dia afaka miasa tsara ihany koa, manome antoka ny fahamarinan'ny nanoscale mitohy sy azo antoka ho an'ny fanamboarana puce, ary manampy ny indostrian'ny semiconductor handroso amin'ny ambaratonga ambony kokoa.
Fotoana fandefasana: 14 Aprily 2025