Ao amin'ny atrikasa famokarana semiconductor, ny fepetra takian'ny fizotry ny famokarana chip ho an'ny toe-javatra manodidina ny tontolo iainana sy ny fahamarinan'ny fitaovana dia tafahoatra, ary ny fiviliana kely dia mety hitarika amin'ny fihenan'ny vokatra chip. Miantehitra amin'ny singa granita ny XYZT precision gantry hetsika mba hiara-hiasa amin'ny faritra hafa amin'ny lampihazo mba hananganana fototra mafy orina hanatrarana ny fahamarinan'ny nanoscale.
Toetra manakana vibration tsara
Ao amin'ny atrikasa famokarana semiconductor, ny fiasan'ny fitaovana periferika sy ny olona mandehandeha dia mety hiteraka vibration. Ny rafitra anatiny ny singa granita dia matevina sy fanamiana, miaraka amin'ny toetra voajanahary avo lenta, toy ny "sakana" vibration mahomby. Rehefa ampitaina amin'ny sehatra XYZT ny vibration ivelany, ny singa granita dia afaka manalefaka mihoatra ny 80% amin'ny angovo vibration ary mampihena ny fitsabahan'ny vibration amin'ny fahamarinan'ny hetsika. Mandritra izany fotoana izany, ny lampihazo dia manana rafitra mpitari-dalana mitsingevana rivotra avo lenta, izay miasa miaraka amin'ny singa granita. Ny mpitari-dalana mitsingevana rivotra dia mampiasa ny sarimihetsika entona miorina amin'ny entona fanerena avo lenta mba hahatsapana ny hetsika fampiatoana tsy misy fifandraisana amin'ireo faritra mihetsika amin'ny lampihazo ary hampihenana ny fihovitrovitra kely vokatry ny fikorontanan'ny mekanika. Miara-miasa izy roa miantoka fa ny fahamarinan'ny toeran'ny sehatra dia tazonina hatrany amin'ny haavon'ny nanometer amin'ny dingana lehibe toy ny lithography chip sy etching, ary misoroka ny fivilian'ny lamina chip circuit vokatry ny vibration.
Filaminana mafana tsara
Ny fiovaovan'ny hafanana sy ny hamandoana ao amin'ny atrikasa dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fahamarinan'ny fitaovana famokarana chip. Ny haavon'ny fanitarana mafana amin'ny granita dia tena ambany, amin'ny ankapobeny amin'ny 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ny habe dia saika tsy miova rehefa miova ny mari-pana. Na dia ny fahasamihafana eo amin'ny mari-pana eo amin'ny andro sy ny alina ao amin'ny atrikasa na ny famokarana hafanana amin'ny fitaovana dia miteraka ny hafanana manodidina ny hafanana, ny singa granita dia afaka mijanona ho marin-toerana mba hisorohana ny fikorontanan'ny sehatra noho ny fanitarana sy ny fihenan'ny hafanana. Mandritra izany fotoana izany, ny rafitra fanaraha-maso mari-pana manan-tsaina miaraka amin'ny lampihazo dia manara-maso ny mari-pana amin'ny fotoana tena izy, manitsy ny rivotra sy ny fitaovana fanalefahana ny hafanana, ary mitazona ny mari-pana amin'ny atrikasa amin'ny 20 ° C ± 1 ° C. Miaraka amin'ny tombony amin'ny fahamendrehana amin'ny hafanana granita, miantoka fa ny sehatra amin'ny asa maharitra, ny hetsika marina amin'ny axis tsirairay dia miantoka hatrany ny haben'ny chips tsirairay mba hahazoana antoka ny haben'ny chip tsirairay mba hahazoana antoka ny haben'ny chip tsirairay. marina, ny halalin'ny etching dia mitovy.
Mahafeno ny filan'ny tontolo iainana madio
Ny fivarotana semiconductor dia mila mitazona ny fahadiovana avo lenta mba hisorohana ny poti-bovoka tsy handoto ny puce. Ny fitaovana granita dia tsy mamokatra vovoka, ary malefaka ny etỳ ambonin'ny tany, tsy mora mifoka vovoka. Ny sehatra amin'ny ankapobeny dia mampiasa endrika rafitra mihidy tanteraka na semi-closed mba hampihenana ny fidiran'ny vovoka ivelany. Ny rafi-pamokarana rivotra anatiny dia mifamatotra amin'ny rafitra fanadiovana rivotra madio ao amin'ny atrikasa mba hahazoana antoka fa ny fahadiovan'ny rivotra anatiny dia mahatratra ny haavon'ny famokarana chip. Amin'ity tontolo madio ity, ny singa granita dia tsy hisy fiantraikany amin'ny fampisehoana noho ny fikorontanan'ny vovoka, ary ny singa manan-danja toy ny sensor avo lenta sy ny motera amin'ny sehatra dia afaka miasa tsara ihany koa, manome antoka ny fahamarinan'ny nanoscale mitohy sy azo antoka ho an'ny famokarana chip, ary manampy ny indostrian'ny semiconductor hifindra any amin'ny dingana ambony kokoa.
Fotoana fandefasana: Apr-14-2025