Ao amin'ny famokarana semiconductor, ny milina photolithography dia fitaovana fototra izay mamaritra ny fahamarinan'ny poti-javatra, ary ny fotony granita, miaraka amin'ireo toetrany maro samihafa, dia lasa singa tena ilaina amin'ny milina photolithography.
Fahamarinan'ny hafanana: Ny "Ampinga" manohitra ny fiovan'ny mari-pana
Rehefa miasa ny milina photolithographie dia miteraka hafanana be dia be. Na dia ny fiovaovan'ny mari-pana 0.1℃ monja aza dia mety hiteraka fiovaovan'ny endriky ny singa ao amin'ny fitaovana ary hisy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny photolithographie. Tena ambany dia ambany ny coefficient de expansion mafana amin'ny granite, 4-8 ×10⁻⁶/℃ monja, izay eo amin'ny 1/3 eo ho eo amin'ny an'ny vy ary 1/5 amin'ny an'ny alloy aluminium. Izany dia ahafahan'ny fotony granite mitazona ny fahamarinan'ny refy rehefa miasa ela ny milina photolithographie na rehefa miova ny mari-pana manodidina, mba hahazoana antoka ny toerana marina misy ny singa optika sy ny rafitra mekanika.
Fahombiazana manohitra ny hovitrovitra mahery vaika: Ny "sponjy" izay mandray ny hovitrovitra
Ao amin'ny orinasa semiconductor, ny fiasan'ny fitaovana manodidina sy ny fivezivezen'ny olona dia mety hiteraka hovitrovitra. Ny granita dia manana hakitroky avo lenta sy endrika mafy, ary manana toetra tsara amin'ny fampihenana ny hamandoana, miaraka amin'ny tahan'ny fampihenana ny hamandoana in-2 ka hatramin'ny in-5 noho ny an'ny metaly. Rehefa alefa any amin'ny fotony granita ny hovitrovitra ivelany, ny fifandonana eo amin'ny kristaly mineraly anatiny dia manova ny angovon'ny hovitrovitra ho angovon'ny hafanana ho an'ny fanariana, izay afaka mampihena be ny hovitrovitra ao anatin'ny fotoana fohy, ahafahan'ny milina photolithography mamerina haingana ny fahamarinan-toerana ary misoroka ny tsy fahitana na ny tsy fitoviana amin'ny lamina photolithography vokatry ny hovitrovitra.
Fahamarinan-toerana ara-tsimika: Ny "Mpiambina" ny Tontolo Iainana Madio
Mifandray amin'ny akora simika isan-karazany ny ao anatin'ny milina photolithography, ary mora harafesina na avoaka ny poti-javatra metaly mahazatra. Ny granita dia voaforon'ny mineraly toy ny quartz sy feldspar. Manana toetra simika marin-toerana izy io ary mahatohitra harafesina matanjaka. Rehefa avy nalona tao anaty vahaolana asidra sy alkali, dia kely dia kely ny harafesina amin'ny ety ambonin'ny tany. Mandritra izany fotoana izany, ny firafiny matevina dia saika tsy miteraka poti-javatra na vovoka, mahafeno ny fepetra takian'ny fenitra avo indrindra amin'ny efitrano madio ary mampihena ny mety hisian'ny fahalotoan'ny wafer.
Fahaiza-miovaova amin'ny fanodinana: Ny "akora tonga lafatra" hamoronana mari-pamantarana mazava tsara
Mila apetraka amin'ny velaran-tany avo lenta ireo singa fototra amin'ny milina photolithography. Mitovy ny rafitra anatiny amin'ny granita ary mora karakaraina amin'ny fahamarinan-toerana avo lenta amin'ny alàlan'ny fikosoham-bary, ny fanosotra ary ny teknika hafa. Mety hahatratra ≤0.5μm/m ny fisakany, ary ≤0.05μm ny haratony amin'ny velaran-tany Ra, izay manome fototra fametrahana mazava tsara ho an'ny singa toy ny lantihy optika.
Faharetana lava sy tsy mila fikojakojana: Ireo "fitaovana maranitra" hampihenana ny fandaniana
Raha ampitahaina amin'ny metaly mora reraka sy vaky rehefa ampiasaina maharitra, ny granita dia zara raha miova endrika na vaky rehefa misy enta-mavesatra mahazatra, ary tsy mila fikarakarana ny ety ambonin'ny tany, ka misoroka ny mety hisian'ny fikikisana sy ny loto. Amin'ny fampiharana azo ampiharina, na dia efa nampiasaina nandritra ny taona maro aza, dia mbola afaka mijanona ho marin-toerana ny mari-pamantarana ny fahombiazan'ny fototra granita, ka mampihena ny fandaniana amin'ny fampiasana sy ny fikojakojana ny fitaovana.
Manomboka amin'ny fahamarinan'ny hafanana, ny fanoherana ny hovitrovitra ka hatramin'ny tsy fahatomombanan'ny simika, ireo toetra maro samihafa amin'ny fototry ny granita dia mahafeno tsara ny fepetra takian'ny milina photolithography. Rehefa mitohy mivoatra mankany amin'ny fahamarinan-toerana ambony kokoa ny fizotran'ny fanamboarana puce, dia mbola hanana anjara toerana tsy azo soloina eo amin'ny sehatry ny fanamboarana semiconductor ny fototry ny granita.
Fotoana fandefasana: 20 Mey 2025