ny
Eo amin'ny sehatry ny famokarana semiconductor, ho fitaovana fototra izay mamaritra ny fahamarinan'ny fizotran'ny famokarana chip, ny fahamarinan'ny tontolo anatiny ao amin'ny milina photolithography dia zava-dehibe. Avy amin'ny fientanam-pon'ny loharanom-pahazavana ultraviolet faran'izay henjana ka hatramin'ny fampandehanana ny sehatra fihetsehana mazava tsara nanoscale, dia tsy misy fiviliana na kely aza amin'ny rohy rehetra. Ny fototry ny granita, miaraka amin'ny andiam-pananana tsy manam-paharoa, dia mampiseho tombony tsy manam-paharoa amin'ny fiantohana ny fiasan'ny milina photolithography sy ny fanatsarana ny fahamarinan'ny photolithography. ny
Fampisehoana fiarovana electromagnetika miavaka
Ny atin'ny milina photolithography dia feno tontolo elektromagnetika sarotra. Ny fitsabahana elektromagnetika (EMI) ateraky ny singa toy ny loharanom-pahazavana ultraviolet mahery vaika, ny motera mitondra fiara, ary ny famatsiana herinaratra avo lenta, raha tsy voafehy tsara, dia hisy fiantraikany lehibe amin'ny fanatanterahana ireo singa elektronika sy rafitra optika ao anatin'ny fitaovana. Ohatra, ny fitsabahana dia mety miteraka fiviliana kely amin'ny lamina photolithography. Ao amin'ny dingana famokarana mandroso, izany dia ampy hitarika amin'ny fifandraisana transistor diso amin'ny chip, mampihena be ny vokatra chip. ny
Ny granita dia fitaovana tsy metaly ary tsy mitondra herinaratra irery. Tsy misy trangan-javatra induction electromagnetika vokatry ny fihetsehan'ny elektrôna maimaim-poana ao anatiny toy ny amin'ny fitaovana metaly. Io toetra io dia mahatonga azy io ho vatana miaro electromagnetika voajanahary, izay afaka manakana tsara ny lalan'ny fifindran'ny fitsabahana elektromagnetika anatiny. Rehefa miparitaka amin'ny fototra granita ny saha andriamby mifandimby nateraky ny loharanon'ny fitsabahana elektromagnetika ivelany, satria ny granita dia tsy andriamby ary tsy azo atao andriamby, sarotra ny miditra ny saha andriamby mifandimby, ka miaro ny singa fototra amin'ny milina photolithography napetraka eo amin'ny fotony, toy ny sensor mazava tsara sy ny fitaovana fanitsiana lens optika mandritra ny fifindran'ny elektromagnetika sy ny fitaovana fanitsiana ny lens optika, avy amin'ny fitaoman'ny electromagnetika. dingana photolithography. ny
Fifanarahana banga tsara
Satria ny hazavana ultraviolet tafahoatra (EUV) dia mora raisina amin'ny akora rehetra, anisan'izany ny rivotra, ny milina lithography EUV dia tsy maintsy miasa ao anaty tontolo banga. Amin'izao fotoana izao, ny fampifanarahana ny singa fitaovana amin'ny tontolo banga dia lasa zava-dehibe indrindra. Ao amin'ny banga, ny fitaovana dia mety levona, desorb ary mamoaka entona. Ny entona navoaka dia tsy mitroka ny hazavana EUV fotsiny, mampihena ny hamafin'ny hazavana sy ny fahombiazan'ny fampitana ny hazavana, fa mety handoto lens optika ihany koa. Ohatra, ny eton-drano dia afaka mamadika ny family, ary ny hydrocarbon dia afaka mametraka sosona karbônina eo amin'ny family, izay misy fiantraikany lehibe amin'ny kalitaon'ny lithography. ny
Ny granita dia manana fananana simika maharitra ary zara raha mamoaka entona ao anaty tontolo banga. Araka ny fitsapana matihanina, ao amin'ny simulated photolithography milina banga tontolo iainana (toy ny ultra-madio tontolo banga izay ny fahazavana Optical rafitra sy imaging Optical rafitra ao amin'ny efitrano lehibe no misy, mitaky H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻⁷ Pa, ny outgas ambany kokoa noho ny fitaovana hafa toy ny ambany kokoa basesing ny taham-pamokarana ny granita toy izany. metaly. Izany dia mamela ny atiny amin'ny milina photolithography mba hitazonana ny haavon'ny banga sy ny fahadiovana mandritra ny fotoana maharitra, miantoka ny fampitana avo ny hazavana EUV mandritra ny fifindrana sy ny tontolo manodidina ny fampiasana ultra-madio ho an'ny lantihy optika, manitatra ny fiainan'ny rafitra optika, ary manatsara ny fahombiazan'ny milina photolithography. ny
Ny fanoherana ny vibration matanjaka sy ny fahamarinan-toerana mafana
Mandritra ny fizotran'ny photolithography, ny fahitsiana amin'ny haavon'ny nanometer dia mitaky fa ny milina photolithography dia tsy tokony hanana vibration na deformation mafana na kely aza. Ny fihovitrovitra ara-tontolo iainana vokatry ny fiasan'ny fitaovana hafa sy ny fihetsiky ny mpiasa ao amin'ny atrikasa, ary koa ny hafanana vokarin'ny milina photolithography mihitsy mandritra ny fandidiana, dia mety hanelingelina ny fahamarinan'ny photolithography. Ny granita dia manana hakitroky avo sy mafy, ary manana fanoherana vibration tsara. Ny firafitry ny kristaly mineraly anatiny dia matevina, izay afaka manalefaka ny angovo vibration ary manakana haingana ny fiparitahan'ny vibration. Ny angon-drakitra andrana dia mampiseho fa eo ambanin'ny loharano vibration iray ihany, ny base granita dia afaka mampihena ny amplitude vibration mihoatra ny 90% ao anatin'ny 0.5 segondra. Raha ampitahaina amin'ny fototra metaly, dia afaka mamerina ny fitaovana ho amin'ny fitoniana haingana kokoa, miantoka ny marina toerana akaiky eo amin'ny photolithography family sy ny wafer, ary ny fisorohana ny lamina blurring na misalignment vokatry ny vibration. ny
Mandritra izany fotoana izany, ny coefficient ny fanitarana mafana ny granita dia tena ambany, eo ho eo (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, izay ambany lavitra noho ny metaly fitaovana. Mandritra ny fiasan'ny milina photolithography, na dia miovaova aza ny hafanana anatiny noho ny antony toy ny famokarana hafanana avy amin'ny loharano maivana sy ny fikorontanan'ny singa mekanika, ny fototry ny granita dia afaka mitazona ny fitoniana amin'ny refy ary tsy handalo fiovana lehibe noho ny fanitarana sy ny fihenan'ny hafanana. Izy io dia manome fanohanana azo antoka sy azo itokisana ho an'ny rafitra optika sy ny sehatra mihetsika mazava tsara, mitazona ny tsy fitoviana amin'ny fahamarinan'ny photolithography.
Fotoana fandefasana: May-20-2025