Eo amin'ny sehatry ny fanamboarana fitaovana vita amin'ny granita mazava tsara sy ny fikarohana siantifika, ny fisakan'ny sehatra granita mazava tsara dia famantarana lehibe iray hahazoana antoka ny fahamarinan'ny fitaovana. Ity manaraka ity dia fampidirana amin'ny antsipiriany momba ny fomba fitiliana mahazatra maromaro sy ny fomba fiasany ho anao.
I. Fomba famantarana ny interferometer laser
Ny interferometer laser no fitaovana tiana indrindra amin'ny fitadiavana fisaka avo lenta. Raiso ho ohatra ny interferometer laser ZYGO GPI XP, izay mety hahatratra 0.1nm ny famahany. Rehefa manao ny fitadiavana, ampifanaraho aloha amin'ny sehatra ny loharanon'ny hazavana amin'ny interferometer ary zarao ho faritra misy harato 50mm × 50mm ny velaran'ny sehatra. Avy eo, nangonina isaky ny teboka ny angon-drakitra momba ny sisin'ny interference, ary nampifanarahina sy nohadihadiana tamin'ny fampiasana ny polynomial Zernike ny angon-drakitra mba hahazoana ny hadisoan'ny fisaka. Ity fomba ity dia azo ampiharina amin'ny sehatra avo lenta ary afaka mamantatra ny hadisoan'ny fisaka ≤0.5μm/m². Matetika ampiasaina amin'ny fitadiavana milina photolithography sy sehatra milina fandrefesana telo-coordinate avo lenta izy io.
II. Fomba fiasa amin'ny ambaratonga elektronika
Mora ampiasaina ary tena mahomby ny fitadiavana ambaratonga elektronika. Ny ambaratonga elektronika TESA A2 (miaraka amin'ny famaha 0.01μm/m) dia nofantenana ary nalamina tao anaty laharana 9×9 manaraka ny lalana X/Y axis an'ny sehatra. Amin'ny alàlan'ny fanangonana miaraka ny angon-drakitra momba ny fironana amin'ny ambaratonga tsirairay ary avy eo mampiasa ny fomba kely indrindra amin'ny kajy, dia azo atao ny mahazo marina ny sandan'ny fisaka. Ity fomba ity dia afaka mamantatra tsara ny toe-javatra misy ny concavity sy ny convexity eo an-toerana amin'ny sehatra. Ohatra, ny fiovaovan'ny 0.2μm ao anatin'ny elanelana 50mm dia azo jerena ihany koa, izay mety amin'ny fitadiavana haingana amin'ny famokarana betsaka.
III. Fomba kristaly fisaka optika
Ny fomba kristaly fisaka optika dia mety amin'ny famantarana sehatra kely. Apetaho mafy amin'ny velarana hotsapaina eo amin'ny sehatra ny kristaly fisaka optika ary jereo ireo sisiny mifanindry eo anelanelany eo ambanin'ny hazavana monochromatic (toy ny jiro sodium). Raha tsipika mahitsy mifanitsy ireo tsipika, dia midika izany fa fisaka tsara. Raha misy tsipika miolikolika miseho, dia kajy ny hadisoan'ny fisaka mifototra amin'ny haavon'ny fiolahana tsipika. Ny tsipika miolikolika tsirairay dia maneho fahasamihafan'ny haavony 0.316μm, ary ny angon-drakitra fisaka dia azo amin'ny alàlan'ny fiovam-po tsotra.
Efatra. Milina fandrefesana misy koordinate telo fomba fanaraha-maso
Afaka mandrefy tsara amin'ny toerana telo refy ny milina fandrefesana misy koordinate telo. Apetraho eo amin'ny latabatra fiasan'ny milina fandrefesana ny lampihazo granita ary ampiasao ny fitaovana fandrefesana mba hanangonana angona avy amin'ny teboka fandrefesana maromaro eo amin'ny velaran'ny lampihazo. Ny rafitra fandrefesana dia mikirakira sy mamakafaka ireo angona ireo mba hamoronana tatitra momba ny fisakanan'ny lampihazo. Ity fomba ity dia tsy vitan'ny hoe afaka mamantatra ny fisaka, fa mahazo ihany koa ny masontsivana jeometrika hafa amin'ny lampihazo miaraka, ary mety amin'ny fitadiavana feno ireo lampihazo granita lehibe.
Ny fahaizana mifehy ireo fomba fitiliana ireo dia afaka manampy anao hanombana tsara ny fisakan'ny sehatra granita mazava tsara ary hanome antoka azo antoka ho an'ny fiasan'ny fitaovana mazava tsara.
Fotoana fandefasana: 29 Mey 2025