Eo amin'ny sehatry ny famokarana mazava tsara sy ny fikarohana siantifika, ny fisaka amin'ny sehatra fametahana granita dia famantarana lehibe mba hiantohana ny fahamarinan'ny fitaovana. Ity manaraka ity dia fampahafantarana amin'ny antsipiriany momba ny fomba fitiliana mahazatra sy ny fomba fiasany ho anao. ny
I. Laser interferometer Detection fomba
Ny interferometer tamin'ny laser no fitaovana tiana indrindra ho an'ny fisavana avo lenta. Raiso ho ohatra ny interferometer laser ZYGO GPI XP, mety hahatratra 0.1nm ny famaha azy. Rehefa manao ny fizahana dia ampifanaraho aloha ny loharanon'ny interferometer amin'ny lampihazo ary zarao ho faritra 50mm × 50mm ny sehatra. Avy eo, ny angon-drakitra momba ny fitsabahana dia nangonina isaky ny teboka, ary ny angon-drakitra dia napetraka sy nodinihina tamin'ny fampiasana ny polynomial Zernike mba hahazoana ny fahadisoana fisaka. Ity fomba ity dia azo ampiharina amin'ny sehatra avo lenta ary afaka mamantatra ny fahadisoana ≤0.5μm / m². Matetika izy io no ampiasaina amin'ny fitadiavana ny milina photolithography sy ny sehatra milina fandrefesana telo-mandrindra avo lenta. ny
Ii. Electronic Level Array Method
Tsotra ny miasa sy mahomby ny fanaraha-maso ambaratonga elektronika. Ny haavon'ny elektronika TESA A2 (miaraka amin'ny famahana ny 0.01μm / m) dia nofantenana ary nalamina tamin'ny array 9 × 9 manaraka ny torolàlana X / Y amin'ny sehatra. Amin'ny alàlan'ny fanangonana miaraka amin'ny angon-drakitra fironan'ny ambaratonga tsirairay ary avy eo amin'ny fampiasana ny fomba faran'izay kely indrindra amin'ny kajy, ny sandan'ny fisaka dia azo atao tsara. Io fomba io dia afaka mamantatra tsara ny concavity eo an-toerana sy ny convexity ny sehatra. Ohatra, mety ho hita ihany koa ny fiovaovan'ny 0.2μm ao anatin'ny 50mm, izay mety amin'ny fitiliana haingana amin'ny famokarana faobe. ny
iii. Optical Flat fomba kristaly
Ny fomba kristaly fisaka optika dia mety amin'ny fitadiavana sehatra kely amin'ny faritra. Ampifandraiso mafy amin'ny ety ambonin'ny tany ny kristaly fisaka optique mba hotsapaina eo amin'ny lampihazo ary diniho ny sisin'ny fitsabahana miforona eo anelanelan'izy ireo eo ambanin'ny famirapiratan'ny loharanom-pahazavana monochromatic (toy ny jiro sodium). Raha tsipika mahitsy mifanitsy ny dian-tongotra, dia midika hoe fisaka tsara izany. Raha toa ka mipoitra ny tsipika miolakolaka, dia kajy ny hadisoana fisaka mifototra amin'ny haavon'ny fiolahana. Ny tsipika miolikolika tsirairay dia maneho ny fahasamihafan'ny haavon'ny 0.316μm, ary azo alaina amin'ny alalan'ny fiovam-po tsotra ny angon-drakitra fisaka. ny
efatra. Fomba fanaraha-maso milina fandrefesana telo-mandrindra
Ny milina fandrefesana mandrindra telo dia afaka mahatratra ny fandrefesana avo lenta amin'ny habaka telo. Apetraho eo amin'ny latabatry ny milina fandrefesana ny sehatra granita ary ampiasao ny probe mba hanangonana angona avy amin'ny teboka fandrefesana maro eny ambonin'ny lampihazo. Ny rafitra milina fandrefesana dia manodina sy manadihady ireo angon-drakitra ireo mba hamoronana tatitra momba ny sehatra. Ity fomba ity dia tsy vitan'ny hoe mahita fisaka, fa koa mahazo masontsivana geometrika hafa amin'ny sehatra miaraka, ary mety amin'ny fitadiavana feno ny sehatra granita lehibe. ny
Ny fifehezana ireo fomba fisavana ireo dia afaka manampy anao hanombantombana tsara ny fahatsoran'ny sehatra granita ary manome antoka azo antoka ho an'ny fampandehanana tsara ny fitaovana.
Fotoana fandefasana: May-29-2025