Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, izay "nanometer" no singa fandrefesana mahazatra, dia tsy azo iadian-kevitra ny fahamarinan'ny rafitry ny fitaovana. Rehefa mihena ho 5nm sy mihoatra ny "nodes" ny "chip nodes", dia mahatratra ambaratonga tafahoatra ny fangatahana fampihenana ny hovitrovitra sy ny fahamarinan'ny hafanana. Ny singa granita misy precisions dia niova avy amin'ny safidy avo lenta ho amin'ny "ADN" tena ilaina amin'ny fitaovana fanamboarana semiconductor.
Amin'ny maha-mpamatsy fitaovana rafitra maharitra avo lenta azy, ny ZHHIMG® dia mamakafaka ireo fampiharana valo tena ilaina indrindra izay ahitana ny granita ho maherifo mangina amin'ny orinasa.
1. Fototry ny milina litografia
Ny milina litografia no fitaovana sarotra indrindra amin'ny rojo semiconductor. Tsy maintsy manohana rafitra optika goavana ny fotony sady mijanona ho tsy mihetsika tsara. Ny hakitroky avo lenta sy ny fihenan'ny hafanana anatiny ao amin'ny granita dia ahafahany mandray hovitrovitra bitika avy amin'ny tontolo manodidina, miantoka fa ny loharanon'ny hazavana dia mijanona ho mitovy amin'ny ambaratonga atomika.
2. Dingana Fihetsehan'ny Rivotra
Ny fitaterana wafer haingam-pandeha dia mitaky fihetsehana tsy misy fikikisana. Satria azo apetaka amin'ny fisaka ambanin'ny micron ny granita, dia mpiara-miasa tonga lafatra amin'ny teknolojia mitondra rivotra izy io. Ny "ondana rivotra" dia mivelatra eo ambonin'ny velaran'ny granita tsy misy fahasimbana, manome ny fihetsehana malefaka ilaina amin'ny scan sy ny fametrahana azy.
3. Sehatra Fanaraha-maso sy Fandrefesana ny Vafer
Rehefa vita ny fandokoana dia tsy maintsy jerena raha misy lesoka ny wafer. Ny fivelaran'ny hafanana ao amin'ny rafitry ny milina dia mety hiteraka "valiny diso" na lesoka tsy hita.Singa granita mazava tsaramanome tontolo tsy mihetsika ara-hafanana, izay miantoka fa ny angon-drakitra fanaraha-maso dia taratry ny velaran'ny wafer marina, fa tsy ny fiovaovan'ny milina.
4. Rafitra Fihetsehana Gantry (Rafitra Tetezana)
Amin'ny fanapahana haingana na famatorana tariby, ny "tetezana" na gantry dia tsy maintsy mihetsika haingana tsy misy fihozongozonana. Ny gantry granita dia manolotra tahan'ny hamafin'ny lanja ambony kokoa raha oharina amin'ny vy natsipy, izay mampihena be ny "fotoana fametrahana" - ny fotoana tsy maintsy iandrasan'ny milina ny fihozongozonana hijanona alohan'ny ahafahany manao ny asany manaraka.
5. Rafitra fanamboarana fitaovana amin'ny laser
Rehefa misy lesoka hita amin'ny saron-tava na "wafer", dia ampiasaina amin'ny fanamboarana mazava tsara ny laser. Izany dia mitaky fototra ara-drafitra izay tsy misy andriamby ary tsy mitondra herinaratra mihitsy. Ny granita dia miaro voajanahary, ka misoroka ny fitsabahan'ny elektromagnetika tsy hisy fiantraikany amin'ny lalan'ny laser marefo.
6. CMM (Milina fandrefesana mandrindra) ho an'ny efitrano madio
Ny fanaraha-maso ny kalitao ao anatin'ny orinasa semiconductor dia mitaky CMM izay mahazaka fepetra henjana ao amin'ny efitrano madio. Tsy toy ny metaly, izay mety hanala poti-javatra na hioksida, ny granita dia mahatohitra asidra sy harafesina, mitazona rafitra fitaovana mafy orina nefa tsy mandoto ny tontolo iainana.
7. Fototra Famolahana Simika Mekanika (CMP)
Ny dingana CMP dia misy slurry sy akora simika izay tena manimba ny metaly. Ny fanoherana simika voajanahary an'ny granita dia mahatonga azy io ho fitaovana tsara indrindra ho an'ny fototry ny fitaovana fanadiovana, izay miantoka ny faharetan'ny fampiasana azy na dia amin'ny tontolo simika henjana aza.
8. Rafitra fametrahana ion
Ireo tontolo misy voltazy avo lenta ao amin'ireo fitaovana fampidirana ion dia mitaky singa izay tsy hanelingelina ny taratra ion na hamorona arko elektrika. Ny toetra dielektrika an'ny granita dia mahatonga azy io ho safidy azo antoka sy maharitra amin'ny fametrahana singa elektrika saro-pady sy banga.
Nahoana no ZHHIMG® ho an'ny fotodrafitrasan'ny Semiconductor?
Ao amin'ny ZHHIMG®, takatray fa ny fototry ny fitaovana semiconductor dia mihoatra noho ny sombin-bato fotsiny—fitaovana voalamina tsara izy io. Ny granita mainty manokanay, miaraka amin'ny fahaiza-manaonay mihoatra ny 30 taona amin'ny fikosoham-bary, dia ahafahanay mahazo naoty fisaka sy parallelism izay mahafeno ny fepetra henjana amin'ny vanim-potoana sub-micron.
-
Akora: Granita mainty ZHHIMG® tena manify sy matevina tsara.
-
Fahitsiana: Naoty marina araka ny DIN 876 Grade 00 na fepetra takiana JIS/ASME manokana.
-
Fanamboarana manokana: Efa napetraka mialoha ao amin'ny atrikasanay mirefy 10.000m² izay manana mari-pana tsy miovaova ny takelaka fampidirana, ny lavaka T, ary ny lalamby mitondra rivotra.
Fotoana fandefasana: 18 Martsa 2026